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TORRI Torri 多级罗茨真空泵

Torri 多级罗茨真空泵可以为抽空 load lock 腔提供结构紧凑、高效节能的解决方案。

该泵具有低极限压力最佳腔体抽真空时间等特点。

 

工作原理

Torri BD 真空泵依据久经验证的螺旋转子原理进行工作。

通过叶片的旋转运动,泵送介质被一级级输送至出口。

由于叶片具有特殊轮廓且采用精密工艺制造,它们不会彼此触碰或触碰到壳体。
此外,压缩腔内无需添加任何润滑液或工作液。

转子由直接耦合连接的同步水冷型电机驱动。


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TORRI BD

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Torri - 用于 load lock 腔的紧凑、高效解决方案。 Torri - 用于 load lock 腔的紧凑、高效解决方案。

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