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GABA AWE 050 AE

尾气处理系统

EPI 工艺中的洗涤塔气体减排

可靠

专为要求严格的 EPI 工艺而设计,强大的文氏管装置,专利进气口防堵器,在减排前不需要收集副产品(捕获陷阱)

维护量少

延长保养周期,正常运行时间长,易于维护保养,保养流程快速便捷,无需拆卸

高效

成熟的湿法洗涤塔技术,运行成本低,内置水循环系统,通过 PLC 和彩色触摸屏轻松操控

技术规格