EPI 工艺中的洗涤塔气体减排
可靠
专为要求严格的 EPI 工艺而设计，强大的文氏管装置，专利进气口防堵器，在减排前不需要收集副产品（捕获陷阱）
维护量少
延长保养周期，正常运行时间长，易于维护保养，保养流程快速便捷，无需拆卸
高效
成熟的湿法洗涤塔技术，运行成本低，内置水循环系统，通过 PLC 和彩色触摸屏轻松操控
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