安全的热湿气体减排系统
可靠
专为减少或去除制造过程中的有害气体和空气污染物而设计，高温加热器可实现无火焰的完美燃烧，专为 CVD 流程设计，非常适合重粉末和腐蚀生成应用
维护量少
易于维护保养，保养流程快速便捷
高效
结合热气和湿气减排技术，可处理可燃和可溶气体，低运行成本，通过带有彩色触摸屏的 PLC 轻松操作工艺
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