可靠
真空泵机组配备坚固、久经验证的 R5 前级泵，并由 PANDA/PUMA 罗茨泵大大提升了前级泵的输出，运行可靠，维护量少
性能出色
与单台真空泵相比，在低极限压力下能够保持高抽速，抽真空时间短，能效高
灵活
可提供多种设计选项，不同的前级泵和罗茨泵组合，占地面积小
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