可靠的技术,成熟的设计——缔造最佳解决方案

COBRA Semicon 螺杆真空泵

极限压力: 0.001 - 0.03 hPa (mbar)
抽气速率 50 Hz: 70 - 7385 m³/h
抽气速率 60 Hz: 85 - 7385 m³/h

COBRA Semicon 干式螺杆真空泵为工艺严苛的半导体、太阳能、平板显示器生产及镀膜行业提供有效的解决方案。 

高效可靠
COBRA Semicon 螺杆真空泵配有高效电机,因此可提供绝佳的节能效果。强劲、可靠、低维护的 COBRA Semicon 真空泵缘于其简单的设计结合 Busch 成熟的螺杆技术(可选择额外的直通法兰罗茨真空泵)。

应用导向
COBRA Semicon 螺杆真空泵有多种型号,广泛适用于各类工艺操作。紧凑型设计简化了安装过程,即使在较狭小的空间也能轻松安装。此系列真空泵拥有同等级中最高的抽速,可提供最大的通气量(甚至是氢气)及增强的颗粒耐受力。
 


COBRA – 为中低真空应用提供可靠且耐用的解决方案。

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COBRA DS

行业标准,气密

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气密,悬挂轴承系统,气冷型

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气密,悬挂轴承系统,水冷型

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