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GABA AWE 050 AE

Abgasreinigungssystem

Nasswäscher-Gasreinigung für EPI-Prozesse

Zuverlässig

Speziell entwickelt für anspruchsvolle EPI-Prozesse, leistungsstarke Venturi-Einheit, Gaseintritt mit patentiertem Verblockungsschutz, kein vorheriges Abscheiden von Prozessrückständen notwendig (Honigfalle)

Minimaler Wartungsaufwand

Verlängerte Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, einfache Wartung, schnelle Serviceroutine, keine Demontage erforderlich

Effizient

Bewährte Nasswäschertechnologie, niedrige Betriebskosten, integriertes Wasserrezirkulationssystem, einfache Bedienung durch SPS mit Farb-Touchscreen

Technische Ausführung