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PUMA WY 8000 A

Booster de vácuo

Os otimizadores de desempenho estanques para aplicações de vácuo médio e alto

Fiável

Design de lóbulo especial para prevenir os depósitos de pós e partículas, construção robusta feita de material GGG40, estanque

Alto desempenho

Desenvolvido especialmente para aplicações exigentes nas faixas de vácuo médio e alto, incluindo os processos de semicondutores com pós e poeiras, excelente eficiência volumétrica

Flexível

Desempenho fiável sob as mais diversas condições de funcionamento, incrementa o desempenho de todo o tipo de bombas primárias

Especificações técnicas

Mercados e aplicações

Produção de ecrãs planos
  • Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
Produção de semicondutores
  • Exigente
Indústria da energia solar
  • Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)