COBRA DS 0600 E
Bomba de vácuo de parafuso a seco
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design de parafuso avançado, excelentes características de funcionamento, perfeitamente adequadas para deposição de vapor químico, recozimento térmico rápido ou deposição de camada atómica
Eficientes
Baixo custo de propriedade, manutenção mínima, intervalos de manutenção longos, elevado tempo de atividade, eficiente refrigeração indireta por água, caudal de hidrogénio elevado
Compactas
Design compacto adaptado ao local de instalação, motor monobloco montado diretamente
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Produção de ecrãs planos
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Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
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Câmaras de bloqueio de carga
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Díodo orgânico emissor de luz (OLED)
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Deposição física de vapor (PVD)
Fabrico de baterias de iões de lítio
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Desgaseificação
Produção de semicondutores
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Médio
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Exigente
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Ligeiro
Indústria da energia solar
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Fundição de lingotes
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Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
Acessórios
- Revestimento de tântalo para aplicações exigentes