PUMA WY 3600 A
Booster próżniowy
szczelne rozwiązana optymalizujące wydajność w zastosowaniach wymagających średniego i wysokiego podciśnienia
Niezawodność
Specjalnie zaprojektowane wirniki krzywkowe zapobiegają osadzaniu się proszków i cząsteczek, odporna konstrukcja wykonana z materiału GGG40, szczelna konstrukcja
Wysoka wydajność
Produkt zaprojektowany specjalnie z myślą o wymagających zastosowaniach w zakresie średniej i wysokiej próżni, w tym do procesów produkcji półprzewodników, w których występują proszki i pył, znakomita wydajność objętościowa
Elastyczność
Niezawodne działanie w zakresie zmiennych warunków eksploatacji, zwiększa osiągi wszystkich rodzajów pomp wspomagających
Dane techniczne
Rynki i zastosowania
-
Chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym (PECVD)
-
Trudne
-
Chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym (PECVD)