COBRA Semicon
Trockene Schrauben-Vakuumpumpen
COBRA Semicon trockene Schrauben-Vakuumpumpen sind perfekt geeignet für alle anspruchsvollen Prozesse bei der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion sowie für viele andere industrielle Beschichtungsanwendungen.
Das Funktionsprinzip der COBRA Semicon basiert auf unserer hochmodernen Schraubentechnologie. Mit ihren patentierten selbstausbalancierenden Schrauben setzen sie neue Maßstäbe in puncto Effizienz.
COBRA Semicon kombinieren hohen Durchsatz mit hervorragender Dampf- und Partikelverträglichkeit. Partikelhaltige Medien können daher problemlos evakuiert werden.
Das öl- und berührungsfreie Funktionsprinzip sorgt für geringen Wartungsbedarf, niedrige Betriebskosten und lange Lebensdauer.
Die kompakten Abmessungen der COBRA Semicon erleichtern die Installation – auch in beengten räumlichen Situationen.
Funktionsprinzip
In COBRA Semicon Schrauben-Vakuumpumpen drehen sich zwei Schraubenrotoren jeweils in entgegengesetzter Richtung. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen. Dort wird es verdichtet und zum Auslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig noch den Zylinder.COBRA BA
- Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
- Trockenes und berührungsfreies Funktionsprinzip
- Einzigartige „fliegende Lagerung“
- Freitragende Konstruktion
- Kompakte Bauweise
- Wirksame Luftkühlung
- Optionaler Frequenzumrichter
Vorteile der Baureihe COBRA BA
COBRA BA sind bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpen, die sich perfekt für anspruchsvolle Prozesse wie Sterilisations-, Metallurgie-, Gasrückgewinnungs- oder Hochofenanwendungen eignen.
Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben sorgt für einen äußerst vibrationsarmen und leisen Betrieb.
Das besondere Merkmal der COBRA BA Vakuumpumpen ist die glockenförmige, freitragende Konstruktion: Der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben ist lediglich motorseitig befestigt. Die einzigartige „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und das Fördermedium kann vollständig rückgewonnen werden.
COBRA BA Vakuumpumpen zeichnen sich durch eine effiziente Luftkühlung aus.
Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BA sehr kompakte Abmessungen auf.
Alle COBRA BA Produkte
COBRA BC
- Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
- Trockenes und berührungsfreies Funktionsprinzip
- Einzigartige „fliegende Lagerung“
- Freitragende Konstruktion
- Kompakte, platzsparende Bauweise
- Direkte Wasserkühlung
- Vollständig offenes Kommunikationsprotokoll
Video: Wie COBRA BC Vakuumpumpen arbeiten
Vorteile der Baureihe COBRA BC
COBRA BC Vakuumpumpen eignen sich hervorragend für Aufgaben in Load-Lock- und Transferkammern. Zu den weiteren Einsatzbereichen zählen unter anderem Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Annealing und Silikonätzen.
Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben sorgt für einen äußerst vibrationsarmen und leisen Betrieb.
Die Schrauben der COBRA BC sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Der Eintritt von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln ist somit unmöglich. Dadurch werden Korrosion und Ablagerungen wirksam verhindert.
Das besondere Merkmal der COBRA BC Vakuumpumpen ist die glockenförmige, freitragende Konstruktion: Der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben ist lediglich motorseitig befestigt. Die einzigartige „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und das Fördermedium kann vollständig rückgewonnen werden.
Die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC verfügen über eine effiziente direkte Wasserkühlung. Dadurch stellt sich eine gleichmäßige Temperaturverteilung über das gesamte Pumpengehäuse ein. Außerdem ist während des gesamten Prozesses die thermische Stabilität gewährleistet.
Das vollständig offene Kommunikationsprotokoll (Modbus TCP-IP) ermöglicht die Steuerung aller Funktionen. Dazu zählen Energiesparmodi und Drehzahlregelung. Mit Standard-Schnittstellenkomponenten ist eine einfache Anpassung an spezifische Netzwerkprotokolle möglich.
Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC sehr kompakte Abmessungen auf. Ihre platzsparende Bauweise ermöglicht die schnelle und einfache Nachrüstung in bestehenden Systemen.
Alle COBRA BC Produkte
COBRA DS
- Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
- Trockenes und berührungsfreies Funktionsprinzip
- Hervorragende Partikelverträglichkeit
- Effiziente indirekte Wasserkühlung
- Kompakte, platzsparende Bauweise
- Hohes Saugvermögen für das Absaugen von Wasserstoff
- Hocheffizienter Motor
- Baugrößen mit integriertem Vakuum-Booster verfügbar
Vorteile der Baureihe COBRA DS
COBRA DS trockene Schrauben-Vakuumpumpen sind die idealen Vakuumerzeuger für anspruchsvolle Anwendungen. Selbst unter Bedingungen, bei denen ein hoher Wasserstoffdurchsatz erforderlich ist. Sie eignen sich daher perfekt für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing und Atomic Layer Deposition.
Einige Baugrößen der Baureihe COBRA DS verfügen über einen integrierten Hochleistungs-Vakuum-Booster. Diese Kombination einer Vorpumpe mit einem Vakuum-Booster macht höhere Saugvermögen und Enddrücke möglich.
Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben verbindet hervorragende Partikelverträglichkeit mit hoher Verfügbarkeit.
Die Schrauben der COBRA DS sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Der Eintritt von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln ist somit unmöglich. Dadurch werden Korrosion und Ablagerungen wirksam verhindert.
Die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA DS arbeiten mit einer effizienten, indirekten Wasserkühlung. Dadurch kann die Temperaturverteilung im gesamten Pumpengehäuse geregelt werden. Eine Reaktion auf Schwankungen im Prozess ist jederzeit möglich.
Dank ihrer platzsparenden Bauweise können COBRA DS einfach und schnell in bestehenden Systemen nachgerüstet werden.