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COBRA Semicon

Trockene Schrauben-Vakuumpumpen

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COBRA Semicon trockene Schrauben-Vakuumpumpen sind perfekt geeignet für alle anspruchsvollen Prozesse bei der Solarzellen-, Flachbildschirm- und Halbleiterproduktion sowie für viele andere industrielle Beschichtungsanwendungen.

Das Funktionsprinzip der COBRA Semicon basiert auf unserer hochmodernen Schraubentechnologie. Mit ihren patentierten selbstausbalancierenden Schrauben setzen sie neue Maßstäbe in puncto Effizienz.

COBRA Semicon kombinieren hohen Durchsatz mit hervorragender Dampf- und Partikelverträglichkeit. Partikelhaltige Medien können daher problemlos evakuiert werden.

Das öl- und berührungsfreie Funktionsprinzip sorgt für geringen Wartungsbedarf, niedrige Betriebskosten und lange Lebensdauer.

Die kompakten Abmessungen der COBRA Semicon erleichtern die Installation – auch in beengten räumlichen Situationen.

Funktionsprinzip

In COBRA Semicon Schrauben-Vakuumpumpen drehen sich zwei Schraubenrotoren jeweils in entgegengesetzter Richtung. Das Fördermedium wird zwischen den einzelnen Schraubenwendeln eingeschlossen. Dort wird es verdichtet und zum Auslass transportiert. Die beiden Schraubenrotoren berühren sich beim Verdichtungsprozess weder gegenseitig noch den Zylinder.

Entdecken Sie unsere COBRA Semicon Baureihe

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    COBRA BA

    Die luftgekühlte Plug&Pump-Lösung

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    Die ideale Lösung für leichte bis mittlere Halbleiter-Anwendungen

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    Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse

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COBRA BA

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Die luftgekühlte Plug&Pump-Lösung

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Trockenes und berührungsfreies Funktionsprinzip
  • Einzigartige „fliegende Lagerung“
  • Freitragende Konstruktion
  • Kompakte Bauweise
  • Wirksame Luftkühlung
  • Optionaler Frequenzumrichter

Vorteile der Baureihe COBRA BA
COBRA BA sind bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpen, die sich perfekt für anspruchsvolle Prozesse wie Sterilisations-, Metallurgie-, Gasrückgewinnungs- oder Hochofenanwendungen eignen.

Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben sorgt für einen äußerst vibrationsarmen und leisen Betrieb.

Das besondere Merkmal der COBRA BA Vakuumpumpen ist die glockenförmige, freitragende Konstruktion: Der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben ist lediglich motorseitig befestigt. Die einzigartige „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und das Fördermedium kann vollständig rückgewonnen werden.

COBRA BA Vakuumpumpen zeichnen sich durch eine effiziente Luftkühlung aus.

Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BA sehr kompakte Abmessungen auf.

Alle COBRA BA Produkte
  • COBRA BA 0100 C

    COBRA BA 0100 C

    Enddruck:
    0,01 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    85 m³/h

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COBRA BC

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Die ideale Lösung für leichte bis mittlere Halbleiter-Anwendungen

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Trockenes und berührungsfreies Funktionsprinzip
  • Einzigartige „fliegende Lagerung“
  • Freitragende Konstruktion
  • Kompakte, platzsparende Bauweise
  • Direkte Wasserkühlung
  • Vollständig offenes Kommunikationsprotokoll

Video: Wie COBRA BC Vakuumpumpen arbeiten
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Vorteile der Baureihe COBRA BC
COBRA BC Vakuumpumpen eignen sich hervorragend für Aufgaben in Load-Lock- und Transferkammern. Zu den weiteren Einsatzbereichen zählen unter anderem Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Annealing und Silikonätzen.

Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben sorgt für einen äußerst vibrationsarmen und leisen Betrieb.

Die Schrauben der COBRA BC sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Der Eintritt von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln ist somit unmöglich. Dadurch werden Korrosion und Ablagerungen wirksam verhindert.

Das besondere Merkmal der COBRA BC Vakuumpumpen ist die glockenförmige, freitragende Konstruktion: Der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben ist lediglich motorseitig befestigt. Die einzigartige „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und das Fördermedium kann vollständig rückgewonnen werden.

Die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC verfügen über eine effiziente direkte Wasserkühlung. Dadurch stellt sich eine gleichmäßige Temperaturverteilung über das gesamte Pumpengehäuse ein. Außerdem ist während des gesamten Prozesses die thermische Stabilität gewährleistet.

Das vollständig offene Kommunikationsprotokoll (Modbus TCP-IP) ermöglicht die Steuerung aller Funktionen. Dazu zählen Energiesparmodi und Drehzahlregelung. Mit Standard-Schnittstellenkomponenten ist eine einfache Anpassung an spezifische Netzwerkprotokolle möglich.

Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC sehr kompakte Abmessungen auf. Ihre platzsparende Bauweise ermöglicht die schnelle und einfache Nachrüstung in bestehenden Systemen.

Alle COBRA BC Produkte
  • COBRA BC 0100/0200 F

    COBRA BC 0100/0200 F

    Enddruck:
    0,01 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

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  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Enddruck:
    0,005 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

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  • COBRA BC 0101 G

    COBRA BC 0101 G

    Enddruck:
    0,01 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    100 m³/h

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  • COBRA BC 0600 F

    COBRA BC 0600 F

    Enddruck:
    0,003 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    520 m³/h

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  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Enddruck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    530 m³/h

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  • COBRA BC 0601–1200 A/G

    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Enddruck:
    0,003 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

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  • COBRA BC 1000/2000 F

    COBRA BC 1000/2000 F

    Enddruck:
    0,003 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

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  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Enddruck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    955 m³/h

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COBRA DS

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Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse

  • Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
  • Trockenes und berührungsfreies Funktionsprinzip
  • Hervorragende Partikelverträglichkeit
  • Effiziente indirekte Wasserkühlung
  • Kompakte, platzsparende Bauweise
  • Hohes Saugvermögen für das Absaugen von Wasserstoff
  • Hocheffizienter Motor
  • Baugrößen mit integriertem Vakuum-Booster verfügbar

Vorteile der Baureihe COBRA DS
COBRA DS trockene Schrauben-Vakuumpumpen sind die idealen Vakuumerzeuger für anspruchsvolle Anwendungen. Selbst unter Bedingungen, bei denen ein hoher Wasserstoffdurchsatz erforderlich ist. Sie eignen sich daher perfekt für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing und Atomic Layer Deposition.

Einige Baugrößen der Baureihe COBRA DS verfügen über einen integrierten Hochleistungs-Vakuum-Booster. Diese Kombination einer Vorpumpe mit einem Vakuum-Booster macht höhere Saugvermögen und Enddrücke möglich.

Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben verbindet hervorragende Partikelverträglichkeit mit hoher Verfügbarkeit.

Die Schrauben der COBRA DS sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Der Eintritt von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln ist somit unmöglich. Dadurch werden Korrosion und Ablagerungen wirksam verhindert.

Die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA DS arbeiten mit einer effizienten, indirekten Wasserkühlung. Dadurch kann die Temperaturverteilung im gesamten Pumpengehäuse geregelt werden. Eine Reaktion auf Schwankungen im Prozess ist jederzeit möglich.

Dank ihrer platzsparenden Bauweise können COBRA DS einfach und schnell in bestehenden Systemen nachgerüstet werden.

Alle COBRA DS Produkte
  • COBRA DS 0080/0160 G

    COBRA DS 0080/0160 G

    Enddruck:
    0,03 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

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  • COBRA DS 0600 E

    COBRA DS 0600 E

    Enddruck:
    0,01 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    600 m³/h

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  • COBRA DS 0700–2000 G

    COBRA DS 0700–2000 G

    Enddruck:
    0,003 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

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  • COBRA DS 1200/1800 A

    COBRA DS 1200/1800 A

    Enddruck:
    0,003 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 1200 m³/h max. 1700 m³/h

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  • COBRA DS 2610–3161 A/E

    COBRA DS 2610–3161 A/E

    Enddruck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 1830 m³/h max. 3200 m³/h

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  • COBRA DS 3181 A

    COBRA DS 3181 A

    Enddruck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    3500 m³/h

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  • COBRA DS 5161/9161 A

    COBRA DS 5161/9161 A

    Enddruck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

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  • COBRA DS 8162/8163 B/F

    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Enddruck:
    0,001 hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

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