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RANGU

Diffusions-Vakuumpumpen

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RANGU ist eine Baureihe von Diffusionsvakuumpumpen. Sie wurden speziell für Hochvakuum-Anwendungen entwickelt. Dazu gehören Glasbeschichtungseinheiten, Vakuumöfen, Metallbeschichtung, physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), Oberflächenbehandlung oder Dünnfilmbeschichtung.

RANGU Diffusions-Vakuumpumpen arbeiten nach dem bewährten Öldampfstrahlprinzip. Sie zeichnen sich durch ihre außergewöhnliche Zuverlässigkeit auch unter harten Bedingungen aus.

Funktionsprinzip

RANGU Diffusions-Vakuumpumpen bestehen im Wesentlichen aus einem zylindrischen Pumpenkörper mit beheizbarem Boden. Öl wird als Treibmittel verwendet und aufgeheizt. Der Dampf des Öls steigt in einem Düsensystem auf. Er durchläuft dann mehrere Dampfstrahlstufen und tritt unter hohem Druck wieder aus diesem System aus.

Die Moleküle des Prozessgases werden von diesen Dampfstrahlen erfasst und nach unten zum Auslass der Vorpumpe befördert. Der Öldampf kondensiert an der Innenfläche des wassergekühlten Pumpenkörpers und fließt zum Boden zurück.

RANGU DF

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Die robusten und zuverlässigen Hochvakuumerzeuger

  • Höchste Saugvermögen und Gasdurchsätze
  • Betriebssicher
  • Lange Laufleistung
  • Annähernd wartungsfrei

Vorteile der Baureihe RANGU DF
RANGU DF Diffusions-Vakuumpumpen sind die perfekte Lösung für Hochvakuumanwendungen. Sie sind bestens geeignet für Prozesse, die hohe Saugvermögen und Gasdurchsätze erfordern.

Diese Vakuumpumpen zeichnen sich durch konstant hohe Leistung und zuverlässigen Betrieb aus. Selbst unter harten Betriebsbedingungen, die andere Vakuumpumpen zerstören würden. Sie arbeiten mit einem hohen Wirkungsgrad und sind praktisch wartungsfrei.

RANGU Diffusions-Vakuumpumpen können mit einem Ansaugdruck von 10–3 hPa (mbar) betrieben werden. Zur Erzeugung des Vorvakuums empfehlen wir eine R5 Drehschieber-Vakuumpumpe oder eine COBRA Schrauben-Vakuumpumpe, jeweils mit einem Vakuum-Booster.

Alle RANGU DF Produkte
  • RANGU DF 1000-2800 A

    RANGU DF 1000-2800 A

    Enddruck:
    < 7 · 10⁻⁸ hPa (mbar)
    Nennsaugvermögen:

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