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COBRA BC 0601–1200 A/G

Schraube

Die ideale Lösung für leichte bis mittlere Halbleiter-Anwendungen

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Atomic Layer Deposition, Load-Lock- und Transferkammern, für Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Annealing und Ätzprozesse wie Oxid-, Silikon- und Metallätzen

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, direkte Wasserkühlung

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen

Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiterproduktion
  • Mittel
Solarindustrie
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)