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TORRI BD 0100–0600 A

Drehkolben

die kompakte und energieeffiziente Lösung für Load-Lock-Kammern

Flexibel

Kürzeste Evakuierungszeit für Load-Lock-Kammern

Effizient

Äußerst geringer Energieverbrauch, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit

Kompakt

Extrem klein und leicht

Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Halbleiterproduktion
  • Leicht