COBRA DS 8162/8163 B/F
Bomba de vácuo de parafuso a seco
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design de parafuso avançado, excelentes características de funcionamento, booster de vácuo integrado, perfeitamente adequadas para processos de bloqueio de carga e de revestimento de alta capacidade
Eficientes
Baixo custo de propriedade, manutenção mínima, intervalos de manutenção longos, elevado tempo de atividade, refrigeração eficiente por água, caudal de solvente elevado
Compactas
Design compacto adaptado ao local de instalação, motor monobloco montado diretamente, bomba primária e booster de vácuo combinados numa estrutura de suporte compacta, design modular
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Produção de ecrãs planos
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Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
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Câmaras de bloqueio de carga
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Díodo orgânico emissor de luz (OLED)
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Deposição física de vapor (PVD)
Fabrico de baterias de iões de lítio
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Desgaseificação
Produção de semicondutores
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Médio
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Ligeiro