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COBRA DS 3010/3161 C/G

Bomba de vácuo de parafuso a seco

A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes

Alto desempenho

Design de parafuso avançado, excelentes características de funcionamento, acelerador de vácuo integrado, perfeitamente adequadas para deposição de vapor químico, recozimento térmico rápido ou deposição de camada atómica

Eficientes

Baixo custo de propriedade, manutenção mínima, intervalos de manutenção longos, elevado tempo de atividade, eficiente refrigeração indireta por água, caudal de hidrogénio elevado

Compactas

Design compacto adaptado ao local de instalação, motor monobloco montado diretamente, bomba primária e booster de vácuo combinados numa estrutura de suporte compacta

Especificações técnicas

Mercados e aplicações

Manuseamento de biogás
  • Em atualização – adsorção por alteração de pressão
Produção de ecrãs planos
  • Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
  • Câmaras de bloqueio de carga
  • Díodo orgânico emissor de luz (OLED)
  • Deposição física de vapor (PVD)
Fabrico de baterias de iões de lítio
  • Desgaseificação
Produção de semicondutores
  • Médio
  • Exigente
  • Ligeiro
Indústria da energia solar
  • Câmaras de bloqueio de carga
  • Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)

Acessórios

  • Versão opcional com processamento de pó disponível (apenas para DS 3010 G e DS 3161 C)
  • Revestimento de tântalo opcional