COBRA DS 3010/3161 C/G
Bomba de vácuo de parafuso a seco
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design de parafuso avançado, excelentes características de funcionamento, acelerador de vácuo integrado, perfeitamente adequadas para deposição de vapor químico, recozimento térmico rápido ou deposição de camada atómica
Eficientes
Baixo custo de propriedade, manutenção mínima, intervalos de manutenção longos, elevado tempo de atividade, eficiente refrigeração indireta por água, caudal de hidrogénio elevado
Compactas
Design compacto adaptado ao local de instalação, motor monobloco montado diretamente, bomba primária e booster de vácuo combinados numa estrutura de suporte compacta
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
-
Em atualização – adsorção por alteração de pressão
-
Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
-
Câmaras de bloqueio de carga
-
Díodo orgânico emissor de luz (OLED)
-
Deposição física de vapor (PVD)
-
Desgaseificação
-
Médio
-
Exigente
-
Ligeiro
-
Câmaras de bloqueio de carga
-
Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
Acessórios
- Versão opcional com processamento de pó disponível (apenas para DS 3010 G e DS 3161 C)
- Revestimento de tântalo opcional