TORRI BD 0100–0600 A
Wielostopniowe rotacyjne lobowe pompy próżniowe
niewielkie i energooszczędne rozwiązanie do komór typu load-lock
Elastyczność
Najkrótszy czas usuwania powietrza z komór typu load-lock
Wydajność
Wyjątkowo niskie zużycie energii, minimalne nakłady na konserwację, wysoki czas pracy
Kompaktowość
Wyjątkowo niewielki rozmiar i masa
Dane techniczne
Rynki i zastosowania
Produkcja półprzewodników
-
Lekkie