COBRA BC 1000 F i BC 2000 F to dwie śrubowe pompy próżniowe ze sprawdzonej serii COBRA BC. Duża prędkość pompowania i wysoka przepustowość wodoru sprawiają, że pompy te idealnie nadają się do wymagających procesów związanych z wytwarzaniem ogniw fotowoltaicznych, monitorów płaskich i półprzewodników. Pompa próżniowa COBRA działa w technologii bezolejowej i bezstykowej, co umożliwia usuwanie nośników o dużej zawartości materiałów sypkich i cząstek.
Pompy COBRA BC 1000 F i BC 2000 F są standardowo wyposażone w zintegrowane urządzenie wspomagające, które zwiększa prędkość pompowania i ciśnienie końcowe. Pompa wstępna i pompa wspomagająca są umieszczone wspólnie na niewielkiej ramie podstawy.
Pompy COBRA BC 1000 F i BC 2000 F są wyposażone w wysokosprawny silnik z trybem gotowości, który zapewnia optymalne zużycie energii.
Dzięki małym wymiarom pompy te potrzebują niewiele miejsca, a bardzo niskie zapotrzebowanie na energię pozwala zminimalizować koszty eksploatacji. Na obniżenie kosztów użytkowania wpływa także długa żywotność pomp próżniowych COBRA BC. Pompy można szybko i łatwo zamontować w istniejących systemach.
Zastosowania
- Osadzanie CVD w plazmie o wysokiej gęstości (HDP CVD)
- Szybka obróbka termiczna (RTP)
- Osadzanie CVD przy obniżonym ciśnieniu (SACVD)
- Osadzanie CVD metalowo-organiczne (MOCVD)
- Osadzanie CVD wspomagane plazmą (PECVD)
- Niskociśnieniowe osadzanie CVD (LPCVD)
- Osadzanie warstwy atomowej (ALD)
- Komory typu load-lock
