Sprawdzona technologia i konstrukcje  –
wybierz najlepsze rozwiązanie

COBRA BC 1000 / 2000 F

COBRA BC 1000 F i BC 2000 F to dwie śrubowe pompy próżniowe ze sprawdzonej serii COBRA BC. Duża prędkość pompowania i wysoka przepustowość wodoru sprawiają, że pompy te idealnie nadają się do wymagających procesów związanych z wytwarzaniem ogniw fotowoltaicznych, monitorów płaskich i półprzewodników. Pompa próżniowa COBRA działa w technologii bezolejowej i bezstykowej, co umożliwia usuwanie nośników o dużej zawartości materiałów sypkich i cząstek.

Pompy COBRA BC 1000 F i BC 2000 F są standardowo wyposażone w zintegrowane urządzenie wspomagające, które zwiększa prędkość pompowania i ciśnienie końcowe. Pompa wstępna i pompa wspomagająca są umieszczone wspólnie na niewielkiej ramie podstawy.

Pompy COBRA BC 1000 F i BC 2000 F są wyposażone w wysokosprawny silnik z trybem gotowości, który zapewnia optymalne zużycie energii.

Dzięki małym wymiarom pompy te potrzebują niewiele miejsca, a bardzo niskie zapotrzebowanie na energię pozwala zminimalizować koszty eksploatacji. Na obniżenie kosztów użytkowania wpływa także długa żywotność pomp próżniowych COBRA BC. Pompy można szybko i łatwo zamontować w istniejących systemach.

Zastosowania

  • Osadzanie CVD w plazmie o wysokiej gęstości (HDP CVD)
  • Szybka obróbka termiczna (RTP)
  • Osadzanie CVD przy obniżonym ciśnieniu (SACVD)
  • Osadzanie CVD metalowo-organiczne (MOCVD)
  • Osadzanie CVD wspomagane plazmą (PECVD)
  • Niskociśnieniowe osadzanie CVD (LPCVD)
  • Osadzanie warstwy atomowej (ALD)
  • Komory typu load-lock
COBRA – nowa generacja pomp próżniowych do wymagających zastosowań.

COBRA – nowa generacja pomp próżniowych do wymagających zastosowań.

Chcesz uzyskać więcej informacji?
Skontaktuj się z nami bezpośrednio (Busch Polska):
+48 (0)54 231 54 00 Skontaktuj się z nami

Dane techniczne

Dane techniczne
COBRA BC 1000 F i BC 2000 F to jednostopniowe, dwuwałowe śrubowe pompy próżniowe. Wewnątrz cylindra obracają się dwa wirniki śrubowe, które przechwytują pompowany nośnik między poszczególnymi spiralami śruby, transportując go do wylotu gazu.
W procesie sprężania dwa wirniki śrubowe nie wchodzą w kontakt ani ze sobą, ani z cylindrem, dzięki czemu nie ma konieczności stosowania smarów ani płynów eksploatacyjnych w komorze sprężania.

Nowatorska konstrukcja śruby pozwala na radykalne obniżenie zużycia energii oraz zapobiega wzrostowi temperatury gazu podczas sprężania. Nowoczesna technologia śruby umożliwia również zwiększenie prędkości pompowania w celu usuwania wodoru. Jako urządzenie wspomagające używana jest pompa próżniowa Rootsa, która w połączeniu ze śrubową pompą próżniową tworzy jedną, zwartą całość.

Skuteczny system pośredniego chłodzenia wodą zapewnia równomierny rozkład temperatur w pompie próżniowej i gwarantuje stabilność termiczną pompy COBRA BC w trakcie całego procesu.


 

Rysunku COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Prędkość pompowania

Temperatura powietrza 20°C. Tolerancja: ±10%

 50 Hz 60 Hz
Prędkość pompowania
ISO - 50 Hz
ISO - 60 Hz
Dane techniczne COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Wydajność nominalna 930 m³/h 1580 m³/h
Ciśnienie końcowe 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Nominalna moc silnika pompy wstępnej 1,5 kW 2,9 kW
Nominalna moc silnika wspomagania próżniowego 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Poziom hałasu (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Konsumpcja wody 3,0 l/min 3,0 l/min
Zużycie azotu 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Waga (w przybliżeniu) 310 kg 360 kg
Wymiary (L × W × H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Wlot/wylot gazu DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Wszystkie dane dotyczące wydajności dotyczą warunków otoczenia 14,7 PSIA i 70°F i zakładają tolerancję ± 10%.    

Dane techniczne

Dane techniczne
COBRA BC 1000 F i BC 2000 F to jednostopniowe, dwuwałowe śrubowe pompy próżniowe. Wewnątrz cylindra obracają się dwa wirniki śrubowe, które przechwytują pompowany nośnik między poszczególnymi spiralami śruby, transportując go do wylotu gazu.
W procesie sprężania dwa wirniki śrubowe nie wchodzą w kontakt ani ze sobą, ani z cylindrem, dzięki czemu nie ma konieczności stosowania smarów ani płynów eksploatacyjnych w komorze sprężania.

Nowatorska konstrukcja śruby pozwala na radykalne obniżenie zużycia energii oraz zapobiega wzrostowi temperatury gazu podczas sprężania. Nowoczesna technologia śruby umożliwia również zwiększenie prędkości pompowania w celu usuwania wodoru. Jako urządzenie wspomagające używana jest pompa próżniowa Rootsa, która w połączeniu ze śrubową pompą próżniową tworzy jedną, zwartą całość.

Skuteczny system pośredniego chłodzenia wodą zapewnia równomierny rozkład temperatur w pompie próżniowej i gwarantuje stabilność termiczną pompy COBRA BC w trakcie całego procesu.


 

Rysunku
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Prędkość pompowania

Temperatura powietrza 20°C. Tolerancja: ±10%

50 Hz
60 Hz
Prędkość pompowania
ISO - 50 Hz
ISO - 60 Hz
Dane techniczne COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Wydajność nominalna 930 m³/h 1580 m³/h
Ciśnienie końcowe 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Nominalna moc silnika pompy wstępnej 1,5 kW 2,9 kW
Nominalna moc silnika wspomagania próżniowego 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Poziom hałasu (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Konsumpcja wody 3,0 l/min 3,0 l/min
Zużycie azotu 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Waga (w przybliżeniu) 310 kg 360 kg
Wymiary (L × W × H) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Wlot/wylot gazu DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Wszystkie dane dotyczące wydajności dotyczą warunków otoczenia 14,7 PSIA i 70°F i zakładają tolerancję ± 10%.    

Pobrane pliki

COBRA BC 1000 / 2000 F

Nie znalazłeś odpowiedniego produktu?

Standard News

Ostatnie aktualności