Sprawdzona technologia i konstrukcje  –
wybierz najlepsze rozwiązanie

COBRA BC 0100 / 0200 F

COBRA BC 0100 F to nowa śrubowa pompa próżniowa do opróżniania komór typu load-lock oraz do innych wymagających procesów związanych z wytwarzaniem ogniw fotowoltaicznych, monitorów płaskich i półprzewodników. Dzięki wydajnemu chłodzeniu wodą i najwyższej prędkości w tej klasie pompa ta idealnie nadaje się do zastosowań wymagających efektywnego, szybkiego i niezawodnego uzyskiwania próżni. Pompa próżniowa COBRA działa w technologii bezolejowej i bezstykowej, co umożliwia usuwanie mediów o dużej zawartości cząstek.

Pompa COBRA BC 0100 F jest wyposażona w wysokosprawny silnik z trybem gotowości, który zapewnia optymalne zużycie energii.

Dzięki małym wymiarom pompa COBRA BC 0100 F potrzebuje niewiele miejsca, a bardzo niskie zapotrzebowanie na energię pozwala zminimalizować koszty eksploatacji.

Zastosowania

  • Osadzanie CVD w plazmie o wysokiej gęstości (HDP CVD)
  • Szybka obróbka termiczna (RTP)
  • Osadzanie CVD przy obniżonym ciśnieniu (SACVD)
  • Osadzanie CVD metalowo-organiczne (MOCVD)
  • Osadzanie CVD wspomagane plazmą (PECVD)
  • Niskociśnieniowe osadzanie CVD (LPCVD)
  • Osadzanie warstwy atomowej (ALD)
  • Komory typu load-lock

COBRA – nowa generacja pomp próżniowych do wymagających zastosowań.

COBRA – nowa generacja pomp próżniowych do wymagających zastosowań.

Chcesz uzyskać więcej informacji?
Skontaktuj się z nami bezpośrednio (Busch Polska):
+48 (0)54 231 54 00 Skontaktuj się z nami

Dane techniczne

Dane techniczne
COBRA BC 0100 F to jednostopniowa, dwuwałowa śrubowa pompa próżniowa. Wewnątrz cylindra obracają się dwa wirniki śrubowe, które przechwytują pompowane medium między poszczególnymi spiralami śruby, transportując go do wylotu gazu. W procesie sprężania dwa wirniki śrubowe nie wchodzą w kontakt ani ze sobą, ani z cylindrem, dzięki czemu nie ma konieczności stosowania smarów ani płynów eksploatacyjnych w komorze sprężania. Najnowszym elementem w konstrukcji śruby jest jednostronne łożysko, które pozwala na radykalne obniżenie zużycia energii oraz zapobiega wzrostowi temperatury gazu podczas sprężania. Pompa COBRA BC 0100 F jest standardowo wyposażona w układ chłodzenia wodą, który umożliwia równomierny rozkład temperatur w pompie próżniowej.
 

Rysunku COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Prędkość pompowania

Temperatura powietrza 20°C. Tolerancja: ±10%

50 Hz 60 Hz
Prędkość pompowania
Dane techniczne COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Wydajność nominalna 100 m³/h 165 m³/h
Ciśnienie końcowe 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Nominalna moc silnika 1,5 kW 2,9 kW
Nominalne obroty silnika 3600 min-1 4570 min-1
Pobór mocy przy ciśnieniu końcowym 1,3 kW 1,6 kW
Poziom hałasu (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Konsumpcja wody 1,0 l/min 2,0 l/min
Zużycie azotu 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Waga (w przybliżeniu) 120 kg 130 kg
Wymiary (L × W × H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Wlot/wylot gazu DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Dane techniczne

Dane techniczne
COBRA BC 0100 F to jednostopniowa, dwuwałowa śrubowa pompa próżniowa. Wewnątrz cylindra obracają się dwa wirniki śrubowe, które przechwytują pompowane medium między poszczególnymi spiralami śruby, transportując go do wylotu gazu. W procesie sprężania dwa wirniki śrubowe nie wchodzą w kontakt ani ze sobą, ani z cylindrem, dzięki czemu nie ma konieczności stosowania smarów ani płynów eksploatacyjnych w komorze sprężania. Najnowszym elementem w konstrukcji śruby jest jednostronne łożysko, które pozwala na radykalne obniżenie zużycia energii oraz zapobiega wzrostowi temperatury gazu podczas sprężania. Pompa COBRA BC 0100 F jest standardowo wyposażona w układ chłodzenia wodą, który umożliwia równomierny rozkład temperatur w pompie próżniowej.
 

Rysunku
COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Prędkość pompowania

Temperatura powietrza 20°C. Tolerancja: ±10%

50 Hz
60 Hz
Prędkość pompowania
Dane techniczne COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Wydajność nominalna 100 m³/h 165 m³/h
Ciśnienie końcowe 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Nominalna moc silnika 1,5 kW 2,9 kW
Nominalne obroty silnika 3600 min-1 4570 min-1
Pobór mocy przy ciśnieniu końcowym 1,3 kW 1,6 kW
Poziom hałasu (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Konsumpcja wody 1,0 l/min 2,0 l/min
Zużycie azotu 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Waga (w przybliżeniu) 120 kg 130 kg
Wymiary (L × W × H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Wlot/wylot gazu DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Pobrane pliki

COBRA BC 0100 / 0200 F

Nie znalazłeś odpowiedniego produktu?

Standard News

Ostatnie aktualności