Zaktualizuj przeglądarkę.

Wygląda na to, że używasz starej wersji przeglądarki Microsoft Edge. Aby czerpać jak najwięcej ze strony internetowej Busch, zaktualizuj używaną przeglądarkę.

  • cobra_ds_3181_c

COBRA DS 3010/3161 C/G

Suche śrubowe pompy próżniowe

nowa generacja suchych pomp próżniowych do wymagających zastosowań

Wysoka wydajność

Zaawansowana konstrukcja śruby, znakomita płynność pracy, zintegrowane wspomaganie próżniowe, doskonałe dostosowanie do chemicznego osadzania z fazy gazowej, szybkiego przetwarzania termicznego lub osadzania warstw atomowych

Wydajność

Niski koszt posiadania, minimalne wymagania w zakresie konserwacji, długie odstępy międzyserwisowe, wysoki czas pracy, wydajne pośrednie chłodzenie wodą, duża przepustowość wodoru

Kompaktowość

Dopasowana konstrukcja, bezpośrednio zamontowany silnik zespolony, pompa wspomagająca i wspomaganie próżniowe połączone na kompaktowej ramie podstawy

Dane techniczne

Rynki i zastosowania

Przetwarzanie biogazu
  • Ulepszenie – adsorpcja zmiennociśnieniowa
Produkcja płaskich wyświetlaczy panelowych
  • Chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym (PECVD)
  • Komory typu load-lock
  • Organiczna dioda elektroluminescencyjna (OLED)
  • Fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD)
Produkcja akumulatorów litowo-jonowych
  • Odgazowanie
Produkcja półprzewodników
  • Średnie
  • Trudne
  • Lekkie
Branża energetyki słonecznej
  • Komory typu load-lock
  • Chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym (PECVD)

Akcesoria

  • Wersja do procesów proszkowych jako opcja (dotyczy tylko DS 3010 G i DS 3161 C)
  • Powłoka z tantalu jako opcja