COBRA DS 1200/1800 A/A X
Suche śrubowe pompy próżniowe
nowa generacja suchych pomp próżniowych do wymagających zastosowań
Wysoka wydajność
Zaawansowana konstrukcja śruby, znakomita płynność pracy, zintegrowane wspomaganie próżniowe, doskonałe dostosowanie do zadań dotyczących paneli słonecznych, paneli płaskich i półprzewodników oraz procesów prowadzonych w trudnych warunkach, obejmujących wysokie temperatury gazów, takich jak wytrawianie i CVD, znakomite przenoszenie proszków, tantalowa powłoka śruby do zastosowań w trudnych warunkach
Wydajność
Niski koszt posiadania, minimalne wymagania w zakresie konserwacji, długie odstępy międzyserwisowe, wysoki czas pracy, wydajne pośrednie chłodzenie wodą, duża przepustowość wodoru, niskie zużycie energii, regulacja temperatury
Kompaktowość
Dopasowana konstrukcja, bezpośrednio zamontowany silnik zespolony, pompa wspomagająca i wspomaganie próżniowe połączone na kompaktowej ramie podstawy, niski poziom drgań
Dane techniczne
Rynki i zastosowania
-
Ulepszenie – adsorpcja zmiennociśnieniowa
-
Chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym (PECVD)
-
Komory typu load-lock
-
Organiczna dioda elektroluminescencyjna (OLED)
-
Fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD)
-
Odgazowanie
-
Średnie
-
Trudne
-
Lekkie
-
Chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym (PECVD)