COBRA DS 0700–2000 G
Suche śrubowe pompy próżniowe
nowa generacja suchych pomp próżniowych do wymagających zastosowań
Wysoka wydajność
Zaawansowana konstrukcja śruby, znakomita płynność pracy, zintegrowane wspomaganie próżniowe, doskonałe dostosowanie do chemicznego osadzania z fazy gazowej, szybkiego przetwarzania termicznego lub osadzania warstw atomowych
Wydajność
Niski koszt posiadania, minimalne wymagania w zakresie konserwacji, długie odstępy międzyserwisowe, wysoki czas pracy, wydajne pośrednie chłodzenie wodą, duża przepustowość wodoru
Kompaktowość
Dopasowana konstrukcja, bezpośrednio zamontowany silnik zespolony, pompa wspomagająca i wspomaganie próżniowe połączone na kompaktowej ramie podstawy
Dane techniczne
Rynki i zastosowania
-
Ulepszenie – adsorpcja zmiennociśnieniowa
-
Chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym (PECVD)
-
Komory typu load-lock
-
Organiczna dioda elektroluminescencyjna (OLED)
-
Fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD)
-
Odgazowanie
-
Średnie
-
Trudne
-
Lekkie
-
Chemiczne osadzanie z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym (PECVD)