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Fabrication de semi-conducteurs avec le vide

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Les pompes à vide Busch sont utilisées dans les plus grandes usines de semi-conducteurs et sont réputées pour leur fiabilité. Le résultat de nombreuses années d'écoute des besoins de nos partenaires du secteur des semi-conducteurs et des exigences de leurs processus.

Laissez-nous vous guider pour trouver la solution parfaite pour les exigences de vos processus.

Services pour les semi-conducteurs

  • arpqp_headerimage_1920x720px_72dpi_rgb
    ARPQP

    Le nouveau service de réusinage des pompes à vide Busch. Spécifiquement pour le marché des semi-conducteurs et des écrans plats.

    En savoir plus
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    Gestion complète de sous-usine

    Solution globale de service sur site pour un environnement de production sécurisé et fiable dans votre usine de semi-conducteurs.

    En savoir plus
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    Sites de service pour les semi-conducteurs

    Trouvez votre site de service pour les semi-conducteurs.

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NOS SOLUTIONS POUR LA FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS

Les solutions de vide de Busch sont le choix de confiance pour toutes les applications de semi-conducteurs. Partout où une grande fiabilité, de faibles coûts de propriété et une communication intelligente entre les outils semi-conducteurs sont essentiels. Des sas de chargement et chambres de transfert aux procédés de génération de particules les plus exigeants. Nous avons fournis des systèmes de vide aux principaux fabricants de semi-conducteurs à travers le monde. Et avec une assistance sur site, par une seule et même source.
COBRA TORRI VACTEST TAPIR
Simple (sas de chargement et chambres de transfert, métrologie, lithographie)
Moyen (PVD, pré-nettoyage PVD, RTA, décapage/incinération, gravure oxyde, gravure silicium)
Exigeant (gravure métallique, source d'implantation, HDP, CVD, RTP, épitaxie, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)

Études de cas

  • Éviter les temps d’arrêt imprévus dans les usines de semi-conducteurs grâce au service de vide préventif

    Éviter les temps d’arrêt imprévus dans les usines de semi-conducteurs grâce au service de vide préventif

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