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Système d'abattement des gaz d'échappement

Notre solution : GABA

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L'industrie du semi-conducteur utilise des gaz toxiques, inflammables, pouvant être dangereux pour l'environnement, mais aussi pour les personnes. Dans la fabrication des puces électroniques, par exemple. Conformément à la réglementation en vigueur, ces gaz doivent être épurés. Ce qui signifie qu'ils doivent être abaissés sous leur valeur limite d'exposition (TLV)respective.

Les différents gaz nécessitent différentes technologies de traitement, comme la technologie thermique ou humide, voire même une combinaison des deux. Les gaz d'échappement de processus peuvent ensuite être libérés dans l'atmosphère. Sans impacter l'environnement. Pour un monde plus vert.

Principe de fonctionnement

Catalytique sans flamme
Ce système de catalyseur combine oxydation thermique catalytique sans flamme et technologie de traitement humide pour atténuer le NF₃ et les gaz inflammables, solubles dans l'eau. Les gaz solubles dans l'eau et sous forme de poudre, qui peuvent être générés pendant l'oxydation thermique, sont capturés dans une zone d'humidification à plusieurs étapes en amont.

Thermique-humide
La technologie électrothermique et de traitement par voie humide est combinée dans un système pour atténuer les gaz à base d'hydrures, tels que le NH₃, le SiH₄ mais aussi le NF₃. Dans la chambre de combustion, la composition chimique des gaz de processus inflammables et pyrophoriques est modifiée par oxydation thermique. Les gaz solubles dans l'eau sont alors dissous en amont dans une chambre humide.

Dépoussiéreur par voie humide (wet scrubber)
Dans quatre chambres de réaction individuelles, le flux de gaz d'échappement, provenant en particulier des procédés d'épitaxie, est pulvérisé avec l'eau. Les sous-composés solides sont capturés dans des gouttelettes puis dissous. Un absorbeur sépare ensuite l'eau de la vapeur des gaz d'échappement.

GABA AWE

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Abattement des gaz par technologie humide pour processus EPI

  • Technologie humide (wet scrubber) innovante
  • Pour les processus EPI critiques dans l'industrie des semi-conducteurs
  • Dispositif breveté de prévention du bouchage de l'aspiration
  • Intervalles de maintenance étendus
  • Pas de piège nécessaire pour collecter les sous-produits
  • Unité Venturi à variation de fréquence
  • Quatre entrées de processus pour connexion à quatre chambres différentes

Avantages de la série GABA AWE

Les GABA AWE sont nos épurateurs humides innovants, spécialement développés pour les processus EPI critiques dans l'industrie des semi-conducteurs. Ils combinent une fiabilité opérationnelle maximale avec le plus haut niveau de stabilité du processus.

Notre gamme AWE est équipée d'une aspiration brevetée des gaz nocifs qui empêche l'entrée de l'épurateur de se boucher. Ce qui permet d'augmenter la durée de vie et, en même temps, de réduire les coûts d'exploitation. L'entretien se réduit au remplacement du dispositif empêchant l'aspiration de se boucher à des intervalles de service définis. Cela peut être effectué facilement sans avoir à démonter l'unité.

La conception spéciale GABA AWE rend obsolète le piège de la séparation des sous-produits du processus de production. L'épurateur humide peut traiter tous les résidus du procédé sans bloquer l'aspiration des gaz. Les sous-produits solubles dans l'eau réagissent dans le liquide de lavage, les solides sont séparés sous forme de particules ou évacués par pompage avec les eaux usées pendant l'opération.

Le vide du processus de production est assuré et contrôlé activement par une unité Venturi à variation de fréquence. Cela garantit une pression constante du processus dans l'usine de production et un fonctionnement sans faille. Tous les réglages du processus peuvent être effectués via un automate programmable industriel (PLC) avec affichage couleur et écran tactile.

Tous les produits GABA AWE

  • GABA AWE 050 AE
    GABA AWE 050 AE

    Pression finale :

    Vitesse de pompage nominale :

    En savoir plus

GABA AFC

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Abattement efficace des gaz par catalyseur sans flammes

  • Combinaison de la technologie catalytique sans flammes avec celle d'abattement de gaz par voie thermique humide
  • Traitement des gaz combustibles et solubles
  • Excellente efficacité de l'abattement
  • Chauffage électrique à haute température
  • Système totalement interchangeable
  • Quatre entrées de processus pour connexion à quatre chambres différentes

Avantages de la série GABA AFC

Les systèmes d'abattement de gaz GABA AFC sont conçus pour réduire ou éliminer les gaz dangereux et les polluants atmosphériques lors des processus de fabrication. Globalement, ils modifient la composition chimique des gaz. En combinant l'oxydation thermique catalytique sans flammes et la technologie d'abattement des gaz par voie thermique humide, il est possible de traiter les deux, les gaz combustibles et les solubles.

Les GABA AFC utilisent un chauffage à haute température avec des catalyseurs chauffés. Ce qui permet une combustion parfaite sans aucune flamme. Pour augmenter l'efficacité de l'élimination des gaz cibles, une température appropriée et des fluides de fonctionnement adéquats sont déterminants. Le système thermique fournit des conditions de traitement stables tout en produisant beaucoup moins de sous-produits. (comme NOx, CO2, etc.). Les gaz solubles dans l'eau, les sous-produits et les gaz chauds provenant de la chambre de combustion sont ensuite traités dans la chambre humide.

Pour éviter une contamination en cours d'entretien, les GABA AFC ont été conçus comme des systèmes entièrement interchangeables. Tous les modules peuvent être remplacés de manière individuelle sans devoir ouvrir la chambre.

Les systèmes d'abattement de gaz de la gamme AFC sont fournis en standard avec quatre entrées de processus. Le système peut ainsi être connecté à quatre chambres différentes d'un outil de traitement ou à plusieurs outils suivant l'application.

Tous les produits GABA AFC

  • GABA AFC 050 A
    GABA AFC 050 A

    Pression finale :

    Vitesse de pompage nominale :

    En savoir plus