Halbleiterproduktion mit Vakuum
Vakuumpumpen von Busch sind bei führenden Halbleiterherstellern im Einsatz und für ihre Zuverlässigkeit bekannt. Das Ergebnis des jahrelangen engen Austauschs mit unseren Partnern in der Halbleiterindustrie und ihre Prozessanforderungen.
Wir möchten Sie dabei unterstützen, die perfekte Lösung für Ihre Prozessanforderungen zu finden.
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Halbleiter-Services
UNSERE LÖSUNGEN FÜR DIE HALBLEITERPRODUKTION
Vakuumlösungen von Busch sind die beste Wahl für alle Halbleiter-Anwendungen. Wo hohe Zuverlässigkeit, niedrige Gesamtbetriebskosten und intelligente Kommunikation zwischen Halbleiter-Tools absolut unverzichtbar sind. Von Load-Lock-Kammern bis zu den anspruchsvollsten partikelerzeugenden Prozessen. Weltweit haben wir führende Halbleiter-Hersteller mit Vakuumsystemen ausgestattet. Und unterstützen sie bis heute mit umfassendem Service vor Ort.| COBRA | TORRI | VACTEST | TAPIR | |
| Einfach (Load-Lock- und Transferkammern, Messtechnik, Lithografie) | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| Mittel (PVD-Prozesse, PVD-Vorreinigung, RTA, Strippung/Veraschung, Oxidätzen, Silikonätzen) | ✓ | ✓ | ✓ | |
| Anspruchsvoll (Metallätzen, Implantations-Quelle, HDP, CVD, RTP, Epitaxie, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD) | ✓ | ✓ | ✓ |
Case Studies
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Vermeidung von ungeplanten Stillstandszeiten in Halbleiterwerken durch vorbeugenden Vakuum-Service
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Hohe Betriebssicherheit bei ALD-Beschichtung durch neueste Schrauben-Vakuumtechnologie
Inficon AG
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