Halbleiterproduktion mit Vakuum

Finden Sie Ihre Lösung für Halbleiter-Service mit der Busch Group

Die Busch Group, ein weltweit führender Anbieter von Vakuumtechnologie, vereint unter ihrem Dach zwei kompetente Marken: Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Zusammen bieten sie ein umfassendes Portfolio an Vakuumlösungen und Services, die auf die Anforderungen der Halbleiterindustrie zugeschnitten sind.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions bringt spezialisiertes Fachwissen in den Bereichen Hoch- und Ultrahochvakuum sowie Lecksuche, insbesondere für Halbleiteranwendungen, ein. Mit seiner langjährigen Position in der Halbleiterindustrie bietet Pfeiffer das bestmögliche Serviceerlebnis. Ob Werksgeneralüberholung von Vakuumpumpen oder vollständiges Sub-Fab-Management – bei Pfeiffer sind Ihre Halbleiterprozesse in sicheren Händen.

Unsere Lösungen Für Die Halbleiterproduktion

Vakuumlösungen von Busch sind die beste Wahl für alle Halbleiter-Anwendungen. Wo hohe Zuverlässigkeit, niedrige Gesamtbetriebskosten und intelligente Kommunikation zwischen Halbleiter-Tools absolut unverzichtbar sind. Von Load-Lock-Kammern bis zu den anspruchsvollsten partikelerzeugenden Prozessen. Weltweit haben wir führende Halbleiter-Hersteller mit Vakuumsystemen ausgestattet. Und unterstützen sie bis heute mit umfassendem Service vor Ort.