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Fabrication de semi-conducteurs avec le vide

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Les pompes à vide Busch sont utilisées dans les plus grandes usines de semi-conducteurs et sont réputées pour leur fiabilité. Le résultat de nombreuses années d'écoute des besoins de nos partenaires du secteur des semi-conducteurs et des exigences de leurs processus.

Laissez-nous vous guider pour trouver la solution parfaite pour les exigences de vos processus.

Trouvez votre solution de service pour semi-conducteurs avec Busch Group

Le Busch Group, leader mondial des technologies de vide, réunit deux marques expertes : Busch Solutions de vide et Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Ensemble, elles offrent un portefeuille complet de solutions de vide et de services adaptés à l’industrie des semi-conducteurs.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions apporte son expertise spécialisée dans les plages de vide poussé et ultravide et la détection de fuites, en particulier pour les applications de semi-conducteurs. Forte de sa longue expérience dans l’industrie des semi-conducteurs, Pfeiffer offrira la meilleure expérience de service possible. Qu’il s’agisse de reconditionnement de pompes à vide ou de gestion complète des sub-fabs, Pfeiffer garantit la sécurité de vos procédés de semi-conducteurs.

Services pour les semi-conducteurs

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Nos Solutions Pour la Fabrication de Semi-Conducteurs

Les solutions de vide de Busch sont le choix de confiance pour toutes les applications de semi-conducteurs. Partout où une grande fiabilité, de faibles coûts de propriété et une communication intelligente entre les outils semi-conducteurs sont essentiels. Des sas de chargement et chambres de transfert aux procédés de génération de particules les plus exigeants. Nous avons fournis des systèmes de vide aux principaux fabricants de semi-conducteurs à travers le monde. Et avec une assistance sur site, par une seule et même source.
VACTEST
Simple (sas de chargement et chambres de transfert, métrologie, lithographie)
Moyen (PVD, pré-nettoyage PVD, RTA, décapage/incinération, gravure oxyde, gravure silicium)
Exigeant (gravure métallique, source d'implantation, HDP, CVD, RTP, épitaxie, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)