Fabrication de semi-conducteurs avec le vide

Les pompes à vide Busch sont utilisées dans les plus grandes usines de semi-conducteurs et sont réputées pour leur fiabilité. Le résultat de nombreuses années d'écoute des besoins de nos partenaires du secteur des semi-conducteurs et des exigences de leurs processus.

Laissez-nous vous guider pour trouver la solution parfaite pour les exigences de vos processus.

Services pour les semi-conducteurs

ARPQP
Le nouveau service de réusinage des pompes à vide Busch. Spécifiquement pour le marché des semi-conducteurs et des écrans plats.
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Gestion complète de sous-usine
Solution globale de service sur site pour un environnement de production sécurisé et fiable dans votre usine de semi-conducteurs.
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Sites de service pour les semi-conducteurs
Trouvez votre site de service pour les semi-conducteurs.
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NOS SOLUTIONS POUR LA FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS

Les solutions de vide de Busch sont le choix de confiance pour toutes les applications de semi-conducteurs. Partout où une grande fiabilité, de faibles coûts de propriété et une communication intelligente entre les outils semi-conducteurs sont essentiels. Des sas de chargement et chambres de transfert aux procédés de génération de particules les plus exigeants. Nous avons fournis des systèmes de vide aux principaux fabricants de semi-conducteurs à travers le monde. Et avec une assistance sur site, par une seule et même source.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Simple (sas de chargement et chambres de transfert, métrologie, lithographie)	✓	✓	✓	✓
Moyen (PVD, pré-nettoyage PVD, RTA, décapage/incinération, gravure oxyde, gravure silicium)	✓		✓	✓
Exigeant (gravure métallique, source d'implantation, HDP, CVD, RTP, épitaxie, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓