PANDA/PUMA

Les PANDA WZ augmentent significativement les performances de tous les types de pompes primaires dans les plages de vide fin et poussé. Elles ont été conçues spécialement pour les processus des semi-conducteurs.

Grâce à un moteur refroidi par eau à montage direct sur bride, les pompes booster PANDA WZ sont étanches à l'atmosphère. Elles sont parfaitement adaptées aux gaz agressifs ou toxiques.

Comme il n'y a pas d'accouplement entre le moteur et le corps, les PANDA WZ sont compactes. Elles peuvent être bridées directement sur la pompe primaire, ou à n'importe quel autre emplacement du système.


Les pompes booster PANDA WZ fonctionnent entièrement sans contact et sans aucun fluide de fonctionnement dans la chambre du procédé. La maintenance est par conséquent réduite au minimum. De plus, les pompes booster PANDA WZ se distinguent par une efficacité volumétrique exceptionnelle et une faible consommation d'énergie. Tout cela réduit de manière significative les coûts d'exploitation.

Les pompes booster PANDA sont équipées en série d'une soupape de bypass. Celle-ci protège de manière fiable les pompes booster contre la surcharge ou la surchauffe et leur permet d'être utilisées à des pressions différentielles élevées. De plus, les PANDA WZ sont compatibles avec un variateur de vitesse.

Les PANDA WV augmentent significativement les performances de tous les types de pompes primaires dans les plages de vide primaire, fin et poussé.

Les pompes booster sont équipées en série d'une soupape de bypass. Celle-ci protège de manière fiable les pompes booster contre la surcharge ou la surchauffe et leur permet d'être utilisées à des pressions différentielles élevées.

Les pompes booster PANDA WV fonctionnent entièrement sans contact et sans aucun fluide de fonctionnement dans la chambre du procédé. La maintenance est par conséquent réduite au minimum. De plus, les pompes booster PANDA WV se distinguent par une efficacité volumétrique exceptionnelle et une faible consommation d'énergie. Tout cela réduit de manière significative les coûts d'exploitation.

Les PANDA WV peuvent être bridées directement sur la pompe primaire, ou à n'importe quel autre emplacement du système. Elles sont également compatibles avec un variateur de vitesse.

Les PUMA WY augmentent significativement les performances de tous les types de pompes primaires dans les plages de vide fin et poussé. Elles ont été conçues spécialement pour les processus des semi-conducteurs.

Grâce à un moteur refroidi par eau à montage direct sur bride, les pompes booster PUMA WY sont étanches à l'atmosphère. Elles sont parfaitement adaptées aux gaz agressifs ou toxiques.

Les pompes booster PUMA WY fonctionnent entièrement sans contact et sans aucun fluide de fonctionnement dans la chambre du procédé. La maintenance est par conséquent réduite au minimum. De plus, les pompes booster PUMA WY se distinguent par une efficacité volumétrique exceptionnelle et une faible consommation d'énergie. Tout cela réduit de manière significative les coûts d'exploitation.

Les PUMA WY peuvent être commandées à l'aide d'un pressostat. Le pressostat active la pompe booster lorsque cette dernière a atteint la pression de service optimale. Par ailleurs, les PUMA WY sont disponibles dans des versions avec variateur de vitesse.

Comme il n'y a pas d'accouplement entre le moteur et le corps, les PUMA WY sont compactes. Elles peuvent être bridées directement sur la pompe primaire, ou à n'importe quel autre emplacement du système.

Les PUMA WP augmentent significativement les performances de tous les types de pompes primaires dans les plages de vide primaire et fin.

Les PUMA WP peuvent être commandées à l'aide d'un pressostat. Le pressostat active la pompe booster lorsque cette dernière a atteint la pression de service optimale. Par ailleurs, les PUMA WP sont disponibles dans des versions avec variateur de vitesse.

Les pompes booster PUMA WP fonctionnent entièrement sans contact et sans aucun fluide de fonctionnement dans la chambre du procédé. La maintenance est par conséquent réduite au minimum. De plus, les pompes booster PUMA WP se distinguent par une efficacité volumétrique exceptionnelle et une faible consommation d'énergie. Tout cela réduit de manière significative les coûts d'exploitation.

Les PUMA WP peuvent être bridées directement sur la pompe primaire, ou à n'importe quel autre emplacement du système.

Les boosters de vide PUMA WG offrent des performances élevées dans la plage de vide primaire. Ils conviennent donc parfaitement aux applications impliquant des pressions différentielles et des débits de gaz élevés lors de la compression contre l’atmosphère, telles que le dégazage de l’acier ou la récupération de vapeur. La pression limite peut être réduite davantage, jusqu'à 20 à 30 hPa (mbar), en raccordant deux boosters de vide PUMA WG en série. En combinaison avec des boosters de vide supplémentaires, il est possible d’atteindre des pressions encore plus basses dans la plage de vide moyen.

Grâce à un système interne de refroidissement par circulation de gaz, les boosters de vide PUMA WG jusqu’à la pression atmosphériquesans risque de surcharge thermique. Contrairement aux systèmes utilisant l’air ambiant ou l’eau, les boosters refroidis au gaz exploitent une partie du fluide pompé pour assurer la gestion thermique.

En fonctionnement, le gaz pompé s’échauffe lors de la compression puis est évacué par l’orifice de refoulement. Il passe ensuite dans un échangeur thermique raccordé à la sortie, où il est refroidi par l’eau de refroidissement. La chaleur est transférée à travers les parois de l’échangeur vers l’eau de refroidissement, ce qui abaisse la température du gaz. Une partie de ce gaz refroidi est réinjectée dans la chambre de compression, où elle se mélange au gaz de procédé entrant et refroidit les composants internes. Cette circulation contrôlée garantit une distribution thermique équilibrée, même en cas de fonctionnement à la pression limite.

En utilisant un variateur de vitesse (VSD) en option avec les boosters PUMA WG, leur vitesse de rotation peut être ajustée en fonction du niveau de vide requis, réduisant ainsi la consommation d’énergie et améliorant l’efficacité.