COBRA BC 0601–1200 A/G
Trockene Schrauben-Vakuumpumpen
Die ideale Lösung für leichte bis mittlere Halbleiter-Anwendungen
Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Atomic Layer Deposition, Load-Lock- und Transferkammern, für Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Annealing und Ätzprozesse wie Oxid-, Silikon- und Metallätzen
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, direkte Wasserkühlung
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Handling von Biogas
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Aufbereitung - Druckwechseladsorption
Halbleiterproduktion
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Mittel
Solarindustrie
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Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)