COBRA Semicon

COBRA BC Vakuumpumpen eignen sich hervorragend für Aufgaben in Load-Lock- und Transferkammern. Zu den weiteren Einsatzbereichen zählen unter anderem Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Annealing und Silikonätzen.

Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben sorgt für einen äußerst vibrationsarmen und leisen Betrieb.

Die Schrauben der COBRA BC sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Der Eintritt von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln ist somit unmöglich. Dadurch werden Korrosion und Ablagerungen wirksam verhindert.

Das besondere Merkmal der COBRA BC Vakuumpumpen ist die glockenförmige, freitragende Konstruktion: Der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben ist lediglich motorseitig befestigt. Die einzigartige „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und das Fördermedium kann vollständig rückgewonnen werden.

Die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC verfügen über eine effiziente direkte Wasserkühlung. Dadurch stellt sich eine gleichmäßige Temperaturverteilung über das gesamte Pumpengehäuse ein. Außerdem ist während des gesamten Prozesses die thermische Stabilität gewährleistet.

Das vollständig offene Kommunikationsprotokoll (Modbus TCP-IP) ermöglicht die Steuerung aller Funktionen. Dazu zählen Energiesparmodi und Drehzahlregelung. Mit Standard-Schnittstellenkomponenten ist eine einfache Anpassung an spezifische Netzwerkprotokolle möglich.

Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BC sehr kompakte Abmessungen auf. Ihre platzsparende Bauweise ermöglicht die schnelle und einfache Nachrüstung in bestehenden Systemen.

COBRA BA sind bewährte trockene Schrauben-Vakuumpumpen, die sich perfekt für anspruchsvolle Prozesse wie Sterilisations-, Metallurgie-, Gasrückgewinnungs- oder Hochofenanwendungen eignen.

Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben sorgt für einen äußerst vibrationsarmen und leisen Betrieb.

Das besondere Merkmal der COBRA BA Vakuumpumpen ist die glockenförmige, freitragende Konstruktion: Der Doppelrotor mit asymmetrischen Schrauben ist lediglich motorseitig befestigt. Die einzigartige „fliegende Lagerung“ macht Einlasslager überflüssig. Das Fördermedium kommt daher nicht mit den Lagern in Kontakt. Hierdurch wird eine saubere Vakuumerzeugung gewährleistet, und das Fördermedium kann vollständig rückgewonnen werden.

COBRA BA Vakuumpumpen zeichnen sich durch eine effiziente Luftkühlung aus.

Durch den direkt montierten Spaltrohrmotor weisen die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA BA sehr kompakte Abmessungen auf.

COBRA DS trockene Schrauben-Vakuumpumpen sind die idealen Vakuumerzeuger für anspruchsvolle Anwendungen. Selbst unter Bedingungen, bei denen ein hoher Wasserstoffdurchsatz erforderlich ist. Sie eignen sich daher perfekt für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing und Atomic Layer Deposition.

Einige Baugrößen der Baureihe COBRA DS verfügen über einen integrierten Hochleistungs-Vakuum-Booster. Diese Kombination einer Vorpumpe mit einem Vakuum-Booster macht höhere Saugvermögen und Enddrücke möglich.

Die patentierte Konstruktion mit selbstausbalancierenden Schrauben verbindet hervorragende Partikelverträglichkeit mit hoher Verfügbarkeit.

Die Schrauben der COBRA DS sind aus einem Guss gefertigt, um jede Art von Spalten auszuschließen. Der Eintritt von Prozessflüssigkeiten oder Partikeln ist somit unmöglich. Dadurch werden Korrosion und Ablagerungen wirksam verhindert.

Die Vakuumpumpen der Baureihe COBRA DS arbeiten mit einer effizienten, indirekten Wasserkühlung. Dadurch kann die Temperaturverteilung im gesamten Pumpengehäuse geregelt werden. Eine Reaktion auf Schwankungen im Prozess ist jederzeit möglich.

Dank ihrer platzsparenden Bauweise können COBRA DS einfach und schnell in bestehenden Systemen nachgerüstet werden.