PANDA/PUMA
Vakuum-Booster
PANDA/PUMA Vakuum-Booster erhöhen das Saugvermögen und den Enddruck von Vakuumpumpen. Sie sorgen für eine Leistungssteigerung von Vakuumsystemen um einen Faktor von bis zu zehn.
In Kombination mit Vorpumpen eignen sich PANDA/PUMA ideal für alle Anwendungen, die ein hohes Saugvermögen bei definiertem Arbeitsdruck erfordern.
Die Vakuum-Booster von Busch sind in einer Vielzahl von Baugrößen erhältlich. So können Saugvermögen und Enddruck exakt auf die Prozessbedingungen zugeschnitten werden.
Im Gegensatz zu PUMA Vakuum-Boostern sind PANDA Vakuum-Booster standardmäßig mit einem Bypassventil ausgestattet. Beide Baureihen sind mit einem variablen Drehzahlantrieb kompatibel.
Funktionsprinzip
Bei PANDA/PUMA Vakuum-Boostern drehen sich zwei Wälzkolben synchron in einem Gehäuse. Durch das spezielle Profil dieser Wälzkolben und die präzise Fertigung berühren die Wälzkolben weder sich gegenseitig noch das Gehäuse, in dem sie sich drehen. Dadurch sind keinerlei Schmiermittel oder Betriebsflüssigkeiten in der Prozesskammer notwendig.Während der Drehung der Wälzkolben wird Gas zwischen den Wälzkolben und dem Gehäuse in die Vorpumpe transportiert.
Entdecken Sie unsere PANDA/PUMA Baureihe
PANDA WV
- Hoher volumetrischer Wirkungsgrad
- Integriertes Bypassventil
- Trockene und berührungsfreie Verdichtung
- Minimaler Wartungsaufwand
- Anpassbar an alle Arten von Vorpumpen
Vorteile der Baureihe PANDA WV
PANDA WV sorgen für eine erhebliche Leistungssteigerung aller Arten von Vorpumpen im Grob-, Fein- und Hochvakuumbereich.
Sie sind standardmäßig mit einem Bypassventil ausgestattet. Dies schützt die Vakuum-Booster zuverlässig vor Überlastung oder Überhitzung und ermöglicht den Einsatz bei hohen Differenzdrücken.
PANDA WV Vakuum-Booster arbeiten völlig berührungsfrei und ohne Betriebsflüssigkeiten in der Prozesskammer. Die Wartungsarbeiten beschränken sich daher auf ein Minimum. Darüber hinaus verfügen PANDA WV Vakuum-Booster über einen außergewöhnlichen volumetrischen Wirkungsgrad und einen niedrigen Energieverbrauch. All dies sorgt für niedrige Betriebskosten.
PANDA WV Vakuum-Booster können direkt an die Vorpumpe oder in jeder anderen Position an das System geflanscht werden. Sie sind zudem mit einem variablen Drehzahlantrieb kompatibel.
PUMA WY
- Variabler Drehzahlantrieb verfügbar
- Trockene und berührungsfreie Verdichtung
- Anpassbar an alle Arten von Vorpumpen
- Minimaler Wartungsaufwand
- Hoher volumetrischer Wirkungsgrad
- Leckdichtheit (> 1 × 10-6 mbar × l/s)
- GGG40-Gehäuse für hohe mechanische und chemische Widerstandsfähigkeit
Vorteile der Baureihe PUMA WY
PUMA WY sorgen für eine erhebliche Leistungssteigerung aller Arten von Vorpumpen im Fein- und Hochvakuumbereich. Sie wurden speziell für Halbleiterprozesse entwickelt.
Dank des direkt angeflanschten wassergekühlten Motors sind PUMA WY Vakuum-Booster absolut leckdicht. Sie eignen sich perfekt für die Förderung aggressiver oder toxischer Gase.
PUMA WY Vakuum-Booster arbeiten völlig berührungsfrei und ohne Betriebsflüssigkeiten in der Prozesskammer. Die Wartungsarbeiten beschränken sich daher auf ein Minimum. Darüber hinaus verfügen PUMA WY Vakuum-Booster über einen außergewöhnlichen volumetrischen Wirkungsgrad und einen niedrigen Energieverbrauch. All dies sorgt für niedrige Betriebskosten.
PUMA WY können über einen Druckschalter gesteuert werden. Der Druckschalter aktiviert den Vakuum-Booster, wenn der optimale Arbeitsdruck erreicht wurde. PUMA WY sind außerdem mit einem variablen Drehzahlantrieb erhältlich.
Da es keine Kupplung zwischen Motor und Gehäuse gibt, sind PUMA WY extrem kompakt. Sie können direkt an die Vorpumpe oder in jeder anderen Position an das System geflanscht werden.
PANDA WZ
- Hoher volumetrischer Wirkungsgrad
- Integriertes Bypassventil
- Leckdichtheit (> 1 × 10-6 mbar × l/s)
- Trockene und berührungsfreie Verdichtung
- Anpassbar an alle Arten von Vorpumpen
- Minimaler Wartungsaufwand
Vorteile der Baureihe PANDA WZ
PANDA WZ sorgen für eine erhebliche Leistungssteigerung aller Arten von Vorpumpen im Fein- und Hochvakuumbereich. Sie wurden speziell für Halbleiterprozesse entwickelt.
Dank eines direkt angeflanschten wassergekühlten Motors sind PANDA WZ Vakuum-Booster absolut leckdicht. Sie eignen sich perfekt für die Förderung aggressiver oder toxischer Gase.
Da es keine Kupplung zwischen Motor und Gehäuse gibt, sind PANDA WZ extrem kompakt. Sie können direkt an die Vorpumpe oder in jeder anderen Position an das System geflanscht werden.
PANDA WZ Vakuum-Booster arbeiten völlig berührungsfrei und ohne Betriebsflüssigkeiten in der Prozesskammer. Die Wartungsarbeiten beschränken sich daher auf ein Minimum. Darüber hinaus verfügen PANDA WZ Vakuum-Booster über einen außergewöhnlichen volumetrischen Wirkungsgrad und einen niedrigen Energieverbrauch. All dies sorgt für niedrige Betriebskosten.
PANDA Vakuum-Booster sind standardmäßig mit einem Bypassventil ausgestattet. Dies schützt die Vakuum-Booster zuverlässig vor Überlastung oder Überhitzung und ermöglicht den Einsatz bei hohen Differenzdrücken. PANDA WZ sind außerdem mit einem variablen Drehzahlantrieb kompatibel.
PUMA WP
- Variabler Drehzahlantrieb verfügbar
- Trockene und berührungsfreie Verdichtung
- Anpassbar an alle Arten von Vorpumpen
- Minimaler Wartungsaufwand
- Hoher volumetrischer Wirkungsgrad
- GGG40-Gehäuse für hohe mechanische und chemische Widerstandsfähigkeit
Vorteile der Baureihe PUMA WP
PUMA WP sorgen für eine erhebliche Leistungssteigerung aller Arten von Vorpumpen im Grob- und Feinvakuumbereich.
Sie können über einen Druckschalter gesteuert werden. Der Druckschalter aktiviert den Vakuum-Booster, wenn der optimale Arbeitsdruck erreicht wurde. PUMA WP sind außerdem mit einem variablen Drehzahlantrieb erhältlich.
PUMA WP Vakuum-Booster arbeiten völlig berührungsfrei und ohne Betriebsflüssigkeiten in der Prozesskammer. Die Wartungsarbeiten beschränken sich daher auf ein Minimum. Darüber hinaus verfügen PUMA WP Vakuum-Booster über einen außergewöhnlichen volumetrischen Wirkungsgrad und einen niedrigen Energieverbrauch. All dies sorgt für niedrige Betriebskosten.
PUMA WP können direkt an die Vorpumpe oder in jeder anderen Position an das System geflanscht werden.
