TORRI BD 0100–0600 A
Drehkolben
die kompakte und energieeffiziente Lösung für Load-Lock-Kammern
Flexibel
Kürzeste Evakuierungszeit für Load-Lock-Kammern
Effizient
Äußerst geringer Energieverbrauch, minimale Wartung, hohe Verfügbarkeit
Kompakt
Extrem klein und leicht
Halbleiterproduktion
-
Leicht