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  • cobra_ds_0080_g

COBRA DS 0080/0160 G

Schraube

Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, optimal geeignet für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing oder Atomic Layer Deposition

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Flachbildschirmproduktion
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Organische Leuchtdiode (OLED)
  • Load-Lock-Kammern
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
Metallurgie
  • Beschichten
Halbleiterproduktion
  • Hart
Solarindustrie
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)