Bitte aktualisieren Sie Ihren Browser.

Es sieht so aus, als ob Sie eine alte Version des Edge-Browsers von Microsoft verwenden. Um die Busch Webseite optimal nutzen zu können, aktualisieren Sie bitte Ihren Browser.

  • cobra_bc_1000_f

COBRA BC 1000/2000 F

Schraube

Die ideale Lösung für leichte bis mittlere Halbleiter-Anwendungen

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben, hervorragende Laufeigenschaften, integrierter Vakuum-Booster, optimal geeignet für Aufgaben in Load-Lock- und Transferkammern, für Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung und Rapid Thermal Annealing

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, direkte Wasserkühlung

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor, Vorpumpe und Vakuum-Booster auf einem kompakten Grundrahmen

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Metallurgie
  • Beschichten
Halbleiterproduktion
  • Mittel
Solarindustrie
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)

Zubehör

  • Spezialbeschichtung für das Handling korrosiver Gase und Dämpfe