COBRA BC 0100/0200 F
Schraube
Die ideale Lösung für leichte bis mittlere Halbleiter-Anwendungen
Herausragende Leistung
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, glockenförmige Konstruktion, patentierte selbstausbalancierende Schrauben, hervorragende Laufeigenschaften, optimal geeignet für Aufgaben in Load-Lock- und Transferkammern, für Messtechnik, Lithografie, physikalische Gasphasenabscheidung und Rapid Thermal Annealing
Effizient
Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, direkte Wasserkühlung, Energiesparmodi
Kompakt
Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor
Halbleiterproduktion
-
Mittel