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COBRA BC 0601–1200 A/G

Vite

La soluzione ideale per applicazioni per semiconduttori da leggere a medie

Prestazioni elevate

Design della vite avanzato, struttura a forma di campana, viti brevettate con bilanciamento automatico, eccellenti proprietà di funzionamento, booster per vuoto integrato, particolarmente indicata per processi di deposizione di strati atomici a freddo, compartimenti di carico e camere di trasferimento, metrologia, litografia, deposizione fisica in fase di vapore e ricottura termica rapida e processi di incisione come ossido, silicio e metallo

Efficienti

Basso costo di proprietà, manutenzione minima, lunghi intervalli di assistenza, alta produttività, raffreddamento ad acqua diretto

Compattezza

Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto combinati su un telaio compatto

Specifiche tecniche
Settori e applicazioni
Metallurgia
  • Rivestimento
Produzione di semiconduttori
  • Medie
Settore dell'energia solare
  • Deposizione fisica in fase di vapore (PVD)