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Contatto
Svizzera

COBRA Semicon

Pompe per vuoto a vite a secco

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Le pompe per vuoto a vite a secco COBRA Semicon sono la scelta ideale per tutti i processi altamente impegnativi nella produzione di celle fotovoltaiche, schermi piatti, semiconduttori e in numerose applicazioni industriali di rivestimento.

Il principio operativo delle pompe COBRA Semicon si basa sulla nostra tecnologia a vite all'avanguardia. Grazie alle loro viti brevettate con bilanciamento automatico, definiscono nuovi standard in termini di efficienza.

Le COBRA Semicon uniscono una resa elevata a un'alta tolleranza al vapore e alle particelle. Pertanto i mezzi trasferiti carichi di particelle possono essere evacuati senza alcun problema.

Il principio operativo senza olio e senza contatto assicura manutenzione ridotta, bassi costi di esercizio e un ciclo di vita lungo.

Le dimensioni compatte delle pompe COBRA Semicon facilitano l'installazione, persino in spazi ristretti.

Principio operativo

All'interno delle pompe per vuoto a vite a secco COBRA Semicon due rotori a vite girano in direzione opposta. Il mezzo trasferito viene intrappolato tra il cilindro e le camere a vite, dove viene compresso e trasportato allo scarico. Durante questo processo, i rotori a vite non entrano in contatto né tra loro né con il cilindro.

Scoprite la nostra serie COBRA Semicon

COBRA BA

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La soluzione plug&pump raffreddata ad aria

  • Design della vite avanzato
  • Principio operativo a secco e senza contatto
  • Speciale design "flying bearing"
  • Struttura a sbalzo
  • Design compatto
  • Efficace raffreddamento ad aria
  • Convertitore di frequenza opzionale

Vantaggi della serie COBRA BA
Le COBRA BA sono pompe per vuoto a vite a secco ideali per processi esigenti come applicazioni di sterilizzazione, metallurgia, recupero dei gas o da forno.

Il design brevettato della vite con bilanciamento automatico garantisce livelli di vibrazione minimi e un funzionamento silenzioso.

Le pompe COBRA BA presentano una struttura a sbalzo a forma di campana: il doppio rotore con viti a passo variabile è montato solo sul lato motore. Grazie allo speciale design "flying bearing", i cuscinetti di entrata diventano superflui. Pertanto il mezzo trasferito non viene a contatto con i cuscinetti. Questo assicura la generazione di vuoto pulito e consente il recupero completo del mezzo trasferito.

Le pompe per vuoto COBRA BA sono caratterizzate da un efficiente raffreddamento ad aria.

Un motore canned rende le dimensioni della serie COBRA BA molto compatte.

Tutti i prodotti COBRA BA
  • COBRA BA 0100 C

    COBRA BA 0100 C

    Pressione assoluta nominale:
    0,01 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    85 m³/h

    Ulteriori informazioni

COBRA BC

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La soluzione ideale per applicazioni per semiconduttori da leggere a medie

  • Design della vite avanzato
  • Principio operativo a secco e senza contatto
  • Speciale design "flying bearing"
  • Struttura a sbalzo
  • Design compatto perfettamente adattabile
  • Raffreddamento ad acqua diretto
  • Protocollo di comunicazione completamente aperto

Video: Come funzionano le pompe per vuoto COBRA BC
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Vantaggi della serie COBRA BC
Le pompe per vuoto COBRA BC sono particolarmente indicate per le operazioni di carico e di trasferimento. Altre applicazioni, tra le altre, sono la metrologia, la litografia, la deposizione fisica in fase di vapore, la ricottura termica rapida e l'incisione del silicio.

Il design brevettato della vite con bilanciamento automatico garantisce livelli di vibrazione minimi e un funzionamento silenzioso.

Le viti delle pompe per vuoto COBRA BC vengono prodotte da un pezzo unico di fusione evitando spazi vuoti. Questo rende impossibile la penetrazione di fluidi di processo o particelle e previene quindi corrosione e deposizione.

Le pompe per vuoto COBRA BC presentano una struttura a sbalzo a forma di campana, nella quale il doppio rotore con viti a passo variabile è montato solo sul lato motore. Grazie allo speciale design "flying bearing", i cuscinetti di entrata diventano superflui. Pertanto il mezzo trasferito non viene a contatto con i cuscinetti. Questo assicura vuoto pulito e consente il recupero completo del mezzo trasferito.

Le pompe per vuoto della serie COBRA BC utilizzano un efficiente raffreddamento ad acqua diretto. che permette di mantenere una distribuzione della temperatura uniforme in tutto il corpo della pompa. Inoltre, questa funzionalità garantisce la stabilità termica durante il processo.

Il protocollo di comunicazione completamente aperto (Modbus TCP-IP) consente di controllare tutte le funzioni, comprese le modalità inattive e l'azionamento a velocità variabile. Il protocollo di comunicazione può essere facilmente adattato a un protocollo di rete specifico mediante componenti di interfaccia standard.

Un motore canned rende le dimensioni della serie COBRA BC molto compatte. Grazie al design perfettamente adattabile, le pompe possono essere adattate facilmente e installate successivamente in breve tempo in sistemi esistenti.

Tutti i prodotti COBRA BC
  • COBRA BC 0100/0200 F

    COBRA BC 0100/0200 F

    Pressione assoluta nominale:
    0,01 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Pressione assoluta nominale:
    0,005 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA BC 0101 G

    COBRA BC 0101 G

    Pressione assoluta nominale:
    0,01 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    100 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA BC 0600 F

    COBRA BC 0600 F

    Pressione assoluta nominale:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    520 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Pressione assoluta nominale:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    530 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA BC 0601–1200 A/G

    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Pressione assoluta nominale:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA BC 1000/2000 F

    COBRA BC 1000/2000 F

    Pressione assoluta nominale:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Pressione assoluta nominale:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    955 m³/h

    Ulteriori informazioni

COBRA DS

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La nuova generazione di pompe per vuoto a secco per processi esigenti

  • Design della vite avanzato
  • Principio operativo a secco e senza contatto
  • Gestione della polvere eccellente
  • Efficace raffreddamento ad acqua indiretto
  • Design compatto perfettamente adattabile
  • Elevata capacità di aspirazione per lo scarico di idrogeno
  • Motore ad alta efficienza
  • Taglie disponibili con booster per vuoto integrato

Vantaggi della serie COBRA DS
Le pompe per vuoto a vite a secco COBRA DS sono i generatori di vuoto ideali per processi esigenti, persino in circostanze in cui è richiesto un elevato flusso di idrogeno. Pertanto sono particolarmente indicate per applicazioni quali la deposizione chimica in fase di vapore, la lavorazione termica rapida o la deposizione di strati atomici.

Varie taglie delle pompe della serie COBRA DS sono dotate di un booster per vuoto ad alte prestazioni integrato. Questa combinazione di pompa per vuoto iniziale e booster per vuoto permette di ottenere capacità di aspirazione e pressioni assolute nominali maggiori.

Il design brevettato della vite con bilanciamento automatico garantisce un'eccellente gestione della polvere e un'alta produttività.

Le viti delle pompe per vuoto COBRA DS sono prodotte da un pezzo unico di fusione evitando spazi vuoti. Questo rende impossibile la penetrazione di fluidi di processo o particelle e previene quindi corrosione e deposizione.

Le pompe per vuoto della serie COBRA DS utilizzano un efficace raffreddamento ad acqua indiretto. In questo modo è possibile controllare la distribuzione della temperatura nell'intero corpo della pompa. In qualsiasi momento è possibile reagire alle variazioni del processo.

Grazie al design appositamente concepito, le pompe COBRA DS possono essere adattate successivamente in modo semplice e rapido a sistemi esistenti.

Tutti i prodotti COBRA DS
  • COBRA DS 0080/0160 G

    COBRA DS 0080/0160 G

    Pressione assoluta nominale:
    0,03 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA DS 0600 E

    COBRA DS 0600 E

    Pressione assoluta nominale:
    0,01 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    600 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA DS 0700–2000 G

    COBRA DS 0700–2000 G

    Pressione assoluta nominale:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA DS 1200/1800 A

    COBRA DS 1200/1800 A

    Pressione assoluta nominale:
    0,003 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 1200 m³/h max. 1700 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA DS 2610–3161 A/E

    COBRA DS 2610–3161 A/E

    Pressione assoluta nominale:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 1830 m³/h max. 3200 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA DS 3181 A

    COBRA DS 3181 A

    Pressione assoluta nominale:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    3500 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Pressione assoluta nominale:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

    Ulteriori informazioni
  • COBRA DS 8162/8163 B/F

    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Pressione assoluta nominale:
    0,001 hPa (mbar)
    Capacità di aspirazione nominale:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

    Ulteriori informazioni