Обновите браузер.

Возможно, вы используете устаревшую версию браузера Microsoft Edge. Обновите браузер, чтобы получить доступ ко всем функциям веб-сайта Busch.

COBRA Semicon

Сухие винтовые вакуумные насосы

cobra_bc_1000_f

Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA Semicon — идеальное решение для процессов с повышенными требованиями при производстве фотоэлектрических элементов, плоских экранов, полупроводников, а также в многочисленных промышленных областях нанесения покрытия.

Принцип действия COBRA Semicon основан на передовой винтовой технологии, разработанной нашей компанией. Благодаря использованию запатентованных самобалансирующихся винтов насосы этой линейки устанавливают новый стандарт эффективности.

Насосы COBRA Semicon сочетают в себе высокую производительность и превосходную устойчивость к парам и частицам. Поэтому среда, насыщенная посторонними частицами, удаляется без особых проблем.

Благодаря использованию безмасляного и бесконтактного принципа действия уменьшается объем работ по техническому обслуживанию, сокращаются эксплуатационные расходы и увеличивается срок службы насоса.

За счет малых размеров насосы COBRA Semicon легко монтируются даже в условиях ограниченного пространства.

Принцип действия

Два винтовых ротора сухого винтового вакуумного насоса COBRA Semicon вращаются в противоположных направлениях. Перекачиваемая среда захватывается между цилиндром и винтовыми камерами. Затем эта среда сжимается и подается к выходу. Во время этого процесса винтовые роторы не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром.

Откройте для себя модели серии COBRA Semicon

  • cobra_ba_0100_c
    COBRA BA

    Решение Plug&Pump с воздушным охлаждением

    Подробнее
  • cobra_bc_1000_f_1
    COBRA BC

    Идеальное решение для работы с полупроводниками в системах со средними и легкими условиями эксплуатации

    Подробнее
  • cobra_ds_1200_a
    COBRA DS

    Новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с повышенными требованиями

    Подробнее

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
Решение Plug&Pump с воздушным охлаждением

  • Усовершенствованная конструкция винта
  • Сухой бесконтактный принцип действия
  • Уникальная конструкция «парящий подшипник»
  • Консольная конструкция
  • Компактный дизайн
  • Эффективное воздушное охлаждение
  • Возможность установки частотного преобразователя

Преимущества моделей серии COBRA ВА

Испытанные сухие винтовые вакуумные насосы серии COBRA BA — оптимальное решение для процессов с повышенными требованиями, например для систем стерилизации, металлургических производств, систем регенерации газа и промышленных печей.

Конструкция на основе запатентованных самобалансирующихся винтов обладает низким уровнем вибрации и не создает шума.

В конструкции вакуумного насоса COBRA BA используется консоль колоколообразной формы. Сдвоенный винтовой ротор с винтами регулирования шага устанавливается только со стороны двигателя. Уникальная конструкция «парящий подшипник» исключает необходимость установки подшипников на стороне впуска. Поэтому перекачиваемая среда не соприкасается с подшипниками. Насос генерирует чистый вакуум и позволяет восстанавливать перекачиваемую среду в полном объеме.

Вакуумные насосы серии COBRA BA отличаются эффективным воздушным охлаждением.

Взрывобезопасный двигатель, который устанавливается непосредственно на насос, делает размеры насоса серии COBRA BA очень компактными.

Все модели серии COBRA ВА

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    Предельное остаточное давление:
    0,01 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    85 m³/h

    Узнать подробнее

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
Идеальное решение для работы с полупроводниками в системах со средними и легкими условиями эксплуатации

  • Усовершенствованная конструкция винта
  • Сухой бесконтактный принцип действия
  • Уникальная конструкция «парящий подшипник»
  • Консольная конструкция
  • Компактная интегрируемая конструкция
  • Прямое водяное охлаждение
  • Полностью открытый протокол передачи данных

Видео. Как работают вакуумные насосы COBRA ВА

thumbnail_cobra_bc_series

Для просмотра этого видео необходимо принять файлы cookie.

Разрешить все файлы «куки»

Преимущества моделей серии COBRA ВС

Вакуумные насосы COBRA BC — оптимальный выбор для решения задач в загрузочных шлюзах и транспортировочных камерах. Кроме того, насосы этой линейки можно использовать в метрологии, литографии, системах конденсации из паровой фазы, процессах быстрого термального отжига и травлении кремния.

Конструкция на основе запатентованных самобалансирующихся винтов обладает низким уровнем вибрации и не создает шума.

Винты вакуумных насосов COBRA BC изготавливаются из цельнолитой заготовки и не имеют зазоров. Это препятствует доступу рабочих жидкостей и посторонних частиц. В результате исключается коррозия и отложение грязи.

В конструкции вакуумного насоса COBRA BC используется консоль колоколообразной формы. Сдвоенный винтовой ротор с винтами регулирования шага устанавливается только со стороны двигателя. Уникальная конструкция «парящий подшипник» исключает необходимость установки подшипников на стороне впуска. Поэтому перекачиваемая среда не соприкасается с подшипниками. Насос генерирует чистый вакуум и позволяет восстанавливать перекачиваемую среду в полном объеме.

В вакуумных насосах серии COBRA BC реализован эффективный процесс прямого водяного охлаждения. В результате температура равномерно распределяется по всему корпусу насоса. Более того, во время работы обеспечивается термоустойчивость насоса.

Полностью открытый протокол передачи данных (Modbus TCP-IP) позволяет управлять всеми функциями агрегата. В том числе в режиме холостого хода и частотного регулирования привода. Используя стандартные интерфейсные компоненты, открытый протокол передачи данных можно легко адаптировать к конкретному сетевому протоколу.

Взрывобезопасный двигатель, который устанавливается непосредственно на насос, делает размеры насосов серии COBRA BC очень компактными. Благодаря интегрируемой конструкции насосы этой серии можно быстро и с легкостью модернизировать в соответствии с требованиями существующих систем.

Все модели серии COBRA ВС

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    Предельное остаточное давление:
    0,01 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Предельное остаточное давление:
    0,005 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    Предельное остаточное давление:
    0,01 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    100 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    Предельное остаточное давление:
    0,003 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    520 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Предельное остаточное давление:
    0,001 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    530 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Предельное остаточное давление:
    0,003 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    Предельное остаточное давление:
    0,003 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Предельное остаточное давление:
    0,001 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    955 m³/h

    Узнать подробнее

COBRA DS

cobra_ds_1200_a
Новое поколение сухих вакуумных насосов для процессов с повышенными требованиями

  • Усовершенствованная конструкция винта
  • Сухой бесконтактный принцип действия
  • Превосходное качество работы с порошковыми материалами
  • Эффективное водяное охлаждение косвенного типа
  • Компактная интегрируемая конструкция
  • Высокая скорость откачки для удаления водорода
  • Высокоэкономичный двигатель
  • Доступны типоразмеры со встроенным двухроторным бустерным вакуумным насосом Рутса

Преимущества моделей серии COBRA DS

Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA DS — идеальные генераторы вакуума для процессов с повышенными требованиями. Даже в условиях, требующих высокой пропускной способности для водорода. Поэтому насосы данной серии являются оптимальным решением для систем химического осаждения из паровой фазы, систем быстрой термообработки или атомно-слоевого осаждения.

Насосы серии COBRA DS различных типоразмеров характеризуются наличием встроенного высокопроизводительного двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса. Такое сочетание форвакуумного насоса и двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса позволяет повысить скорость откачки и предельное остаточное давление.

Благодаря использованию запатентованных самобалансирующихся винтов насос превосходно справляется с порошковыми материалами и обладает высокой работоспособностью.

Винты вакуумных насосов COBRA DS изготавливаются из цельнолитой заготовки и не имеют зазоров. Это препятствует доступу рабочих жидкостей и посторонних частиц. В результате исключается коррозия и отложение грязи.

В вакуумных насосах серии COBRA DS используется эффективное водяное охлаждение косвенного типа. Такой способ охлаждения позволяет контролировать распределение температуры по всему корпусу насоса. Конструкция позволяет быстро реагировать на изменения технологического процесса.

Благодаря интегрируемой конструкции насосы COBRA DS можно быстро и с легкостью модернизировать в соответствии с требованиями существующих систем.

Все модели серии COBRA DS

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    Предельное остаточное давление:
    0,03 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    Предельное остаточное давление:
    0,01 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    600 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    Предельное остаточное давление:
    0,003 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA DS 1200/1800 A/A H
    COBRA DS 1200/1800 A/A H

    Предельное остаточное давление:
    0,003 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 1200 m³/h max. 1700 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA DS 2610–3161 B/E/F
    COBRA DS 2610–3161 B/E/F

    Предельное остаточное давление:
    0,001 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 1830 m³/h max. 3200 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA DS 3181 B
    COBRA DS 3181 B

    Предельное остаточное давление:
    0,001 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    3500 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Предельное остаточное давление:
    0,001 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

    Узнать подробнее
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Предельное остаточное давление:
    0,001 hPa (mbar)
    Номинальная скорость откачки:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

    Узнать подробнее