COBRA Semicon
Сухие винтовые вакуумные насосы
Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA Semicon — идеальное решение для процессов с повышенными требованиями при производстве фотоэлектрических элементов, плоских экранов, полупроводников, а также в многочисленных промышленных областях нанесения покрытия.
Принцип действия COBRA Semicon основан на передовой винтовой технологии, разработанной нашей компанией. Благодаря использованию запатентованных самобалансирующихся винтов насосы этой линейки устанавливают новый стандарт эффективности.
Насосы COBRA Semicon сочетают в себе высокую производительность и превосходную устойчивость к парам и частицам. Поэтому среда, насыщенная посторонними частицами, удаляется без особых проблем.
Благодаря использованию безмасляного и бесконтактного принципа действия уменьшается объем работ по техническому обслуживанию, сокращаются эксплуатационные расходы и увеличивается срок службы насоса.
За счет малых размеров насосы COBRA Semicon легко монтируются даже в условиях ограниченного пространства.
Принцип действия
Два винтовых ротора сухого винтового вакуумного насоса COBRA Semicon вращаются в противоположных направлениях. Перекачиваемая среда захватывается между цилиндром и винтовыми камерами. Затем эта среда сжимается и подается к выходу. Во время этого процесса винтовые роторы не соприкасаются ни друг с другом, ни с цилиндром.Откройте для себя модели серии COBRA Semicon
COBRA BA
- Усовершенствованная конструкция винта
- Сухой бесконтактный принцип действия
- Уникальная конструкция «парящий подшипник»
- Консольная конструкция
- Компактный дизайн
- Эффективное воздушное охлаждение
- Возможность установки частотного преобразователя
Преимущества моделей серии COBRA ВА
Испытанные сухие винтовые вакуумные насосы серии COBRA BA — оптимальное решение для процессов с повышенными требованиями, например для систем стерилизации, металлургических производств, систем регенерации газа и промышленных печей.
Конструкция на основе запатентованных самобалансирующихся винтов обладает низким уровнем вибрации и не создает шума.
В конструкции вакуумного насоса COBRA BA используется консоль колоколообразной формы. Сдвоенный винтовой ротор с винтами регулирования шага устанавливается только со стороны двигателя. Уникальная конструкция «парящий подшипник» исключает необходимость установки подшипников на стороне впуска. Поэтому перекачиваемая среда не соприкасается с подшипниками. Насос генерирует чистый вакуум и позволяет восстанавливать перекачиваемую среду в полном объеме.
Вакуумные насосы серии COBRA BA отличаются эффективным воздушным охлаждением.
Взрывобезопасный двигатель, который устанавливается непосредственно на насос, делает размеры насоса серии COBRA BA очень компактными.
COBRA BC
- Усовершенствованная конструкция винта
- Сухой бесконтактный принцип действия
- Уникальная конструкция «парящий подшипник»
- Консольная конструкция
- Компактная интегрируемая конструкция
- Прямое водяное охлаждение
- Полностью открытый протокол передачи данных
Видео. Как работают вакуумные насосы COBRA ВА
Преимущества моделей серии COBRA ВС
Вакуумные насосы COBRA BC — оптимальный выбор для решения задач в загрузочных шлюзах и транспортировочных камерах. Кроме того, насосы этой линейки можно использовать в метрологии, литографии, системах конденсации из паровой фазы, процессах быстрого термального отжига и травлении кремния.
Конструкция на основе запатентованных самобалансирующихся винтов обладает низким уровнем вибрации и не создает шума.
Винты вакуумных насосов COBRA BC изготавливаются из цельнолитой заготовки и не имеют зазоров. Это препятствует доступу рабочих жидкостей и посторонних частиц. В результате исключается коррозия и отложение грязи.
В конструкции вакуумного насоса COBRA BC используется консоль колоколообразной формы. Сдвоенный винтовой ротор с винтами регулирования шага устанавливается только со стороны двигателя. Уникальная конструкция «парящий подшипник» исключает необходимость установки подшипников на стороне впуска. Поэтому перекачиваемая среда не соприкасается с подшипниками. Насос генерирует чистый вакуум и позволяет восстанавливать перекачиваемую среду в полном объеме.
В вакуумных насосах серии COBRA BC реализован эффективный процесс прямого водяного охлаждения. В результате температура равномерно распределяется по всему корпусу насоса. Более того, во время работы обеспечивается термоустойчивость насоса.
Полностью открытый протокол передачи данных (Modbus TCP-IP) позволяет управлять всеми функциями агрегата. В том числе в режиме холостого хода и частотного регулирования привода. Используя стандартные интерфейсные компоненты, открытый протокол передачи данных можно легко адаптировать к конкретному сетевому протоколу.
Взрывобезопасный двигатель, который устанавливается непосредственно на насос, делает размеры насосов серии COBRA BC очень компактными. Благодаря интегрируемой конструкции насосы этой серии можно быстро и с легкостью модернизировать в соответствии с требованиями существующих систем.
COBRA DS
- Усовершенствованная конструкция винта
- Сухой бесконтактный принцип действия
- Превосходное качество работы с порошковыми материалами
- Эффективное водяное охлаждение косвенного типа
- Компактная интегрируемая конструкция
- Высокая скорость откачки для удаления водорода
- Высокоэкономичный двигатель
- Доступны типоразмеры со встроенным двухроторным бустерным вакуумным насосом Рутса
Преимущества моделей серии COBRA DS
Сухие винтовые вакуумные насосы COBRA DS — идеальные генераторы вакуума для процессов с повышенными требованиями. Даже в условиях, требующих высокой пропускной способности для водорода. Поэтому насосы данной серии являются оптимальным решением для систем химического осаждения из паровой фазы, систем быстрой термообработки или атомно-слоевого осаждения.
Насосы серии COBRA DS различных типоразмеров характеризуются наличием встроенного высокопроизводительного двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса. Такое сочетание форвакуумного насоса и двухроторного бустерного вакуумного насоса Рутса позволяет повысить скорость откачки и предельное остаточное давление.
Благодаря использованию запатентованных самобалансирующихся винтов насос превосходно справляется с порошковыми материалами и обладает высокой работоспособностью.
Винты вакуумных насосов COBRA DS изготавливаются из цельнолитой заготовки и не имеют зазоров. Это препятствует доступу рабочих жидкостей и посторонних частиц. В результате исключается коррозия и отложение грязи.
В вакуумных насосах серии COBRA DS используется эффективное водяное охлаждение косвенного типа. Такой способ охлаждения позволяет контролировать распределение температуры по всему корпусу насоса. Конструкция позволяет быстро реагировать на изменения технологического процесса.
Благодаря интегрируемой конструкции насосы COBRA DS можно быстро и с легкостью модернизировать в соответствии с требованиями существующих систем.
