Системы очистки газов

GABA AWE — это наши инновационные мокрые скрубберы, специально разработанные для критических процессов EPI в полупроводниковой промышленности. Они сочетают в себе максимальную безопасность в эксплуатации с высочайшим уровнем устойчивости процесса.

Наша серия AWE оснащена запатентованным входом для токсичных газов, предотвращающим засорение входа в скруббер. Это ведет к увеличению срока службы и одновременно к снижению эксплуатационных расходов. Техническое обслуживание сводится к замене превентора засорения входа через определенные межсервисные интервалы. Это можно легко выполнить без разборки устройства.

Специальная конструкция GABA AWE делает отделение побочных продуктов от производственного процесса в уловителе конденсата устаревшим. Мокрый скруббер способен обрабатывать все технологические остатки, не блокируя впуск газа. Водорастворимые побочные продукты вступают в реакцию в орошающей жидкости, твердые вещества отделяются в виде частиц или откачиваются вместе со сточными водами во время работы.

Вакуум для производственного процесса поставляется и активно контролируется с помощью устройства Вентури с частотным регулированием. Это обеспечивает постоянное давление процесса в производственной установке и ее бесперебойную работу. Все настройки процесса можно выполнить с помощью программируемого логического контроллера (ПЛК) с цветным дисплеем и сенсорным экраном.

Системы очистки газов GABA AFC предназначены для сокращения или удаления опасных газов и загрязнителей воздуха во время производственных процессов. В основном они изменяют химический состав газов. Комбинируя беспламенное каталитическое термальное окисление и технологии очистки термальных влажных газов, можно обрабатывать как горючие, так и растворимые газы.

В GABA AFC используется высокотемпературный нагреватель с нагретыми катализаторами. Это обеспечивает превосходное сгорание без пламени. Для повышения эффективности удаления целевых газов крайне важны соответствующая температура и правильные рабочие жидкости. Данная термическая система обеспечивает стабильные условия обработки при одновременной выработке значительно меньшего количества побочных продуктов (таких как NO_x, CO₂, и т. д.). После этого водорастворимые газы, побочные продукты и горячие газы из камеры реактора обрабатываются во влажной камере.

Во избежание загрязнения во время технического обслуживания системы GABA AFC разрабатывались как системы с возможностью полной замены. Все модули можно заменить по отдельности, не открывая камеру.

Системы очистки газов серии AFC поставляются в стандартной комплектации с четырьмя технологическими входами. Таким образом, эту систему можно подключить к четырем различным камерам технологического инструмента или к нескольким инструментам в зависимости от области применения.

Системы очистки газов нейтрализуют опасные газы и загрязняющие вещества во время производственных процессов. Этот процесс необходим для их безопасного выброса в атмосферу. Для разных газов необходимы разные технологии обработки, такие как термическая или влажная обработка, или их сочетание.

Очистка газов — это процесс, в ходе которого изменяется химический состав опасных газов и загрязняющих веществ. Это необходимо для того, чтобы они выбрасывались в атмосферу, не нанося вреда животным или людям.

Беспламенный каталитический
Эта каталитическая система сочетает в себе технологию беспламенного каталитического термического окисления и технологию смачивания для подавления горючих водорастворимых газов и NF₃. Порошок и водорастворимые газы, которые могут образовываться во время термального окисления, будут улавливаться в расположенной выше по потоку многоступенчатой ​​зоне смачивания.

Термическое смачивание
Электрический нагрев и технология смачивания объединяются в одной системе, что обеспечивает снижение выбросов газов на основе гидридов, таких как NH₃, SiH₄, а также NF₃. В камере сгорания химический состав легковоспламеняющихся и пирофорных технологических газов изменяется под воздействием термального окисления. Затем водорастворимые газы растворяются во влажной камере выше по потоку.

Мокрый скруббер
В четырех отдельных реакционных камерах поток выхлопных газов, особенно тех, что образуются в результате действия эпитаксиальных процессов, орошается водой. Твердые побочные продукты улавливаются каплями воды и растворяются. Затем абсорбер отделяет воду от выходящего газового потока.