Системы очистки газов
Наше решение GABA
В полупроводниковой промышленности используются токсичные, легковоспламеняющиеся и даже вредные для людей и окружающей среды газы. Например, при производстве микрочипов. В соответствии с национальным законодательством эти газы должны устраняться. Это означает, что их содержание опускается ниже соответствующего порогового значения (ПДК).
Для разных газов необходимы разные технологии обработки, такие как термическая, влажная или даже сочетание обеих технологий. После этого технологические выхлопные газы можно выпускать в атмосферу. Не нанося вред природе. Для обеспечения экологии.
Принцип действия
Беспламенный каталитическийЭта каталитическая система сочетает в себе технологию беспламенного каталитического термического окисления и технологию смачивания для подавления горючих водорастворимых газов и NF₃. Порошок и водорастворимые газы, которые могут образовываться во время термального окисления, будут улавливаться в расположенной выше по потоку многоступенчатой зоне смачивания.
Термическое смачивание
Электрический нагрев и технология смачивания объединяются в одной системе, что обеспечивает снижение выбросов газов на основе гидридов, таких как NH₃, SiH₄, а также NF₃. В камере сгорания химический состав легковоспламеняющихся и пирофорных технологических газов изменяется под воздействием термального окисления. Затем водорастворимые газы растворяются во влажной камере выше по потоку.
Мокрый скруббер
В четырех отдельных реакционных камерах поток выхлопных газов, особенно тех, что образуются в результате действия эпитаксиальных процессов, орошается водой. Твердые побочные продукты улавливаются каплями воды и растворяются. Затем абсорбер отделяет воду от выходящего газового потока.
GABA AWE
Мокрый скруббер для снижения выбросов газа в процессах EPI
- Инновационная технология мокрых скрубберов
- Для критических процессов EPI в полупроводниковой промышленности
- Запатентованный превентор засорения входа
- Увеличенные межсервисные интервалы
- Для сбора побочных продуктов не требуется уловитель конденсата
- Устройство Вентури с частотным регулированием
- Четыре технологических входа для подключения к четырем различным камерам
Преимущества серии GABA AWE
Наша серия AWE оснащена запатентованным входом для токсичных газов, предотвращающим засорение входа в скруббер. Это ведет к увеличению срока службы и одновременно к снижению эксплуатационных расходов. Техническое обслуживание сводится к замене превентора засорения входа через определенные межсервисные интервалы. Это можно легко выполнить без разборки устройства.
Специальная конструкция GABA AWE делает отделение побочных продуктов от производственного процесса в уловителе конденсата устаревшим. Мокрый скруббер способен обрабатывать все технологические остатки, не блокируя впуск газа. Водорастворимые побочные продукты вступают в реакцию в орошающей жидкости, твердые вещества отделяются в виде частиц или откачиваются вместе со сточными водами во время работы.
Вакуум для производственного процесса поставляется и активно контролируется с помощью устройства Вентури с частотным регулированием. Это обеспечивает постоянное давление процесса в производственной установке и ее бесперебойную работу. Все настройки процесса можно выполнить с помощью программируемого логического контроллера (ПЛК) с цветным дисплеем и сенсорным экраном.
GABA AFC
Эффективное беспламенное каталитическое снижение выбросов газов
- Сочетание технологий снижения выбросов газов на основе беспламенных каталитических процессов и термосмачивания
- Обработка горючих и растворимых газов
- Превосходная эффективность снижения выбросов
- Высокотемпературный электронагреватель
- Система с возможностью полной замены
- Четыре технологических входа для подключения к четырем различным камерам
Преимущества серии GABA AFC
В GABA AFC используется высокотемпературный нагреватель с нагретыми катализаторами. Это обеспечивает превосходное сгорание без пламени. Для повышения эффективности удаления целевых газов крайне важны соответствующая температура и правильные рабочие жидкости. Данная термическая система обеспечивает стабильные условия обработки при одновременной выработке значительно меньшего количества побочных продуктов (таких как NOx, CO2, и т. д.). После этого водорастворимые газы, побочные продукты и горячие газы из камеры реактора обрабатываются во влажной камере.
Во избежание загрязнения во время технического обслуживания системы GABA AFC разрабатывались как системы с возможностью полной замены. Все модули можно заменить по отдельности, не открывая камеру.
Системы очистки газов серии AFC поставляются в стандартной комплектации с четырьмя технологическими входами. Таким образом, эту систему можно подключить к четырем различным камерам технологического инструмента или к нескольким инструментам в зависимости от области применения.
