Системы очистки газов
Наше решение GABA

В полупроводниковой промышленности используются токсичные, легковоспламеняющиеся и даже вредные для людей и окружающей среды газы. Например, при производстве микрочипов. В соответствии с национальным законодательством эти газы должны устраняться. Это означает, что их содержание опускается ниже соответствующего порогового значения (ПДК).
Для разных газов необходимы разные технологии обработки, такие как термическая, влажная или даже сочетание обеих технологий. После этого технологические выхлопные газы можно выпускать в атмосферу. Не нанося вред природе. Для обеспечения экологии.
GABA AWE

- Инновационная технология мокрых скрубберов
- Для критических процессов EPI в полупроводниковой промышленности
- Запатентованный превентор засорения входа
- Увеличенные межсервисные интервалы
- Для сбора побочных продуктов не требуется уловитель конденсата
- Устройство Вентури с частотным регулированием
- Четыре технологических входа для подключения к четырем различным камерам
Преимущества серии GABA AWE
GABA AWE — это наши инновационные мокрые скрубберы, специально разработанные для критических процессов EPI в полупроводниковой промышленности. Они сочетают в себе максимальную безопасность в эксплуатации с высочайшим уровнем устойчивости процесса.
Наша серия AWE оснащена запатентованным входом для токсичных газов, предотвращающим засорение входа в скруббер. Это ведет к увеличению срока службы и одновременно к снижению эксплуатационных расходов. Техническое обслуживание сводится к замене превентора засорения входа через определенные межсервисные интервалы. Это можно легко выполнить без разборки устройства.
Специальная конструкция GABA AWE делает отделение побочных продуктов от производственного процесса в уловителе конденсата устаревшим. Мокрый скруббер способен обрабатывать все технологические остатки, не блокируя впуск газа. Водорастворимые побочные продукты вступают в реакцию в орошающей жидкости, твердые вещества отделяются в виде частиц или откачиваются вместе со сточными водами во время работы.
Вакуум для производственного процесса поставляется и активно контролируется с помощью устройства Вентури с частотным регулированием. Это обеспечивает постоянное давление процесса в производственной установке и ее бесперебойную работу. Все настройки процесса можно выполнить с помощью программируемого логического контроллера (ПЛК) с цветным дисплеем и сенсорным экраном.
Все модели серии GABA AWE
GABA ATW

- Сочетание технологий снижения выбросов газов на основе беспламенных каталитических процессов и термосмачивания
- Обработка горючих и растворимых газов
- Высокотемпературный электронагреватель
- Четыре технологических входа для подключения к четырем различным камерам
Преимущества серии GABA ATW
Системы очистки газов GABA ATW работают в соответствии с технологией очистки термальных влажных газов. Это означает, что они изменяют химический состав технологических газов. Путем беспламенного термального окисления в случае легковоспламеняющихся и пирофорных газов и растворения в воде в случае водорастворимых газов.
ATW может достигать таких высоких температур, как в системе скруббера горелки, с использованием не природного газа, а электроэнергии. Это устраняет все риски, связанные с газами в производственных процессах.
Наши системы GABA ATW предназначены для подключения к общей вытяжной системе завода. Эти системы очистки газов оснащены четырьмя технологическими входами. Таким образом, эту систему можно подключить к четырем различным камерам технологического инструмента или к нескольким инструментам в зависимости от области применения.
Все модели серии GABA ATW
Часто задаваемые вопросы
Что такое система очистки газов?
Системы очистки газов нейтрализуют опасные газы и загрязняющие вещества во время производственных процессов. Этот процесс необходим для их безопасного выброса в атмосферу. Для разных газов необходимы разные технологии обработки, такие как термическая или влажная обработка, или их сочетание.
Что такое очистка газов?
Очистка газов — это процесс, в ходе которого изменяется химический состав опасных газов и загрязняющих веществ. Это необходимо для того, чтобы они выбрасывались в атмосферу, не нанося вреда животным или людям.
Принцип действия
Беспламенный каталитический
Эта каталитическая система сочетает в себе технологию беспламенного каталитического термического окисления и технологию смачивания для подавления горючих водорастворимых газов и NF₃. Порошок и водорастворимые газы, которые могут образовываться во время термального окисления, будут улавливаться в расположенной выше по потоку многоступенчатой зоне смачивания.
Термическое смачивание
Электрический нагрев и технология смачивания объединяются в одной системе, что обеспечивает снижение выбросов газов на основе гидридов, таких как NH₃, SiH₄, а также NF₃. В камере сгорания химический состав легковоспламеняющихся и пирофорных технологических газов изменяется под воздействием термального окисления. Затем водорастворимые газы растворяются во влажной камере выше по потоку.
Мокрый скруббер
В четырех отдельных реакционных камерах поток выхлопных газов, особенно тех, что образуются в результате действия эпитаксиальных процессов, орошается водой. Твердые побочные продукты улавливаются каплями воды и растворяются. Затем абсорбер отделяет воду от выходящего газового потока.