TORRI BD 0100–0600 A
Bombas de vácuo de lóbulos rotativos multiestágio
A solução compacta e energeticamente eficiente para câmaras de fecho de carga
Flexível
Tempo de bombeamento de câmaras de fecho de carga mais curto
Eficiente
Consumo energético extremamente baixo, manutenção mínima, elevado tempo de atividade
Compacta
Excecionalmente pequena e leve
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
Produção de semicondutores
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Ligeiro