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COBRA BC 1000 / 2000 F

  • Eficiente:
    económica, elevada disponibilidade, energeticamente eficiente
  • Fácil manutenção:
    intervalos de manutenção longos 
  • Fiável:
    funcionamento de confiança
  • Flexível:
    orientada para a aplicação
  • Silenciosa:
    nível de ruído < 62 dB(A)
     

As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F são duas bombas de vácuo de parafuso a seco da série COBRA BC de qualidade comprovada. Os seus elevados caudais de aspiração e de fluxo de hidrogénio tornam-nas ideais para todos os processos exigentes de produção de células fotovoltaicas, ecrãs planos e semicondutores. As bombas de vácuo COBRA são livres de óleo e sem contacto, o que permite a evacuação de meios carregados de pó e partículas.

As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F dispõem de uma bomba booster de vácuo integrada como equipamento standard, o que proporciona caudais de aspiração mais elevados e pressões finais superiores. A bomba primária e a bomba booster de vácuo são combinadas numa estrutura compacta.

As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F são equipadas com motores altamente eficientes, com modo de standby, oferecendo um excelente potencial de poupança de energia.

A sua construção compacta exige muito pouco espaço e os seus requisitos energéticos extremamente baixos mantêm os custos operacionais no mínimo. A longa vida útil das bombas de vácuo COBRA BC reduz ainda mais os custos totais. É fácil e rápido instalar estas bombas de vácuo de parafuso em sistemas existentes.

Aplicações

  • CVD de Plasma de Alta Densidade (HDP CVD)
  • Processamento Térmico Rápido (RTP)
  • CVD Subatmosférica (SACVD)
  • CVD Metal-Orgânico (MOCVD)
  • CVD Assistido por Plasma (PECVD)
  • CVD de Baixa Pressão (LPCVD)
  • Deposição de Camada Atómica (ALD)
  • Antecâmaras e Sistemas de transferência selados de Alta Capacidade

COBRA – o novo patamar de bombas de vácuo de elevada capacidade para os trabalhos mais duros.

COBRA – o novo patamar de bombas de vácuo de elevada capacidade para os trabalhos mais duros.

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Especificações técnicas

Especificações técnicas
As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F são bombas de vácuo de parafuso de duplo veio de simples etapa. Dois rotores de parafuso giram no interior do cilindro, aprisionando e comprimindo o meio aspirado que é transportado até à saída de gás. Durante o processo de compressão, os rotores dos parafusos não entram em contacto entre si nem com o cilindro, por isso, não são necessários lubrificantes ou fluidos de operação na câmara.

O desenvolvimento mais recente do design dos parafusos reduz drasticamente o consumo de energia e evita temperaturas elevadas do gás durante a compressão. A moderna tecnologia de parafuso também facilita um caudal de descarga de hidrogénio extremamente elevado. É utilizada uma bomba booster de vácuo, como reforço, em combinação com a bomba de vácuo de parafuso para formar uma unidade compacta.

O eficiente arrefecimento indireto com água permite uma distribuição de temperatura uniforme na bomba de vácuo e garante a estabilidade térmica ao longo do processo.

As bombas de vácuo de parafuso COBRA BC também estão disponíveis com um revestimento especial para o processamento de gases e vapores corrosivos.

Desenho COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Capacidade de sucção

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Capacidade de sucção
Características técnicas COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Caudal nominal da bomba 930 m³/h 1580 m³/h
Pressão final 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Classificação nominal do motor da bomba de apoio 1,5 kW 2,9 kW
Classificação nominal do motor do acelerador de vácuo 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Nível sonoro (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consumo de água 3,0 l/min 3,0 l/min
Consumo de ar comprimido 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aproximado 310 kg 360 kg
Dimensões (C x L x A) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Entrada/saída do gás DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Todos os dados de desempenho são baseados nas condições ambientais de 14,7 PSIA e 70 °F (21 °C), com uma tolerância de ± 10%.    

Especificações técnicas

Especificações técnicas
As bombas COBRA BC 1000 F e BC 2000 F são bombas de vácuo de parafuso de duplo veio de simples etapa. Dois rotores de parafuso giram no interior do cilindro, aprisionando e comprimindo o meio aspirado que é transportado até à saída de gás. Durante o processo de compressão, os rotores dos parafusos não entram em contacto entre si nem com o cilindro, por isso, não são necessários lubrificantes ou fluidos de operação na câmara.

O desenvolvimento mais recente do design dos parafusos reduz drasticamente o consumo de energia e evita temperaturas elevadas do gás durante a compressão. A moderna tecnologia de parafuso também facilita um caudal de descarga de hidrogénio extremamente elevado. É utilizada uma bomba booster de vácuo, como reforço, em combinação com a bomba de vácuo de parafuso para formar uma unidade compacta.

O eficiente arrefecimento indireto com água permite uma distribuição de temperatura uniforme na bomba de vácuo e garante a estabilidade térmica ao longo do processo.

As bombas de vácuo de parafuso COBRA BC também estão disponíveis com um revestimento especial para o processamento de gases e vapores corrosivos.

Desenho
COBRA BC 1000/2000 F
COBRA BC 1000/2000 F
Capacidade de sucção

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Capacidade de sucção
Características técnicas COBRA BC 1000 F COBRA BC 2000 F
Caudal nominal da bomba 930 m³/h 1580 m³/h
Pressão final 0,003 hPa (mbar) 0,003 hPa (mbar)
Classificação nominal do motor da bomba de apoio 1,5 kW 2,9 kW
Classificação nominal do motor do acelerador de vácuo 2,9 kW 4,0 kW
Nominal motor speed backing pump 3000 min-1 4800 min-1
Nominal motor speed vacuum booster 5400 min-1 5400 min-1
Combined power consumption at ultimate pressure / Idle mode 2,1 / 1,5 kW 3,0 / 1,9 kW
Nível sonoro (ISO 2151) 62 dB(A) 62 dB(A)
Consumo de água 3,0 l/min 3,0 l/min
Consumo de ar comprimido 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aproximado 310 kg 360 kg
Dimensões (C x L x A) 1054 x 425 x 615 mm 1054 x 425 x 615 mm
Entrada/saída do gás DN 100 ISO-K / DN 40 ISO-KF DN 160 ISO-K / DN 40 ISO-KF
Todos os dados de desempenho são baseados nas condições ambientais de 14,7 PSIA e 70 °F (21 °C), com uma tolerância de ± 10%.    

Transferências

COBRA BC 1000 / 2000 F

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