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COBRA BC 0100 / 0200 F

  • Eficiente:
    económica, elevada disponibilidade, energeticamente eficiente
  • Fácil manutenção:
    intervalos de manutenção longos
  • Fiável:
    funcionamento de confiança
  • Flexível:
    orientada para a aplicação
  • Silenciosa:
    nível de ruído < 58 dB(A)


A bomba COBRA BC 0100 F é uma bomba de vácuo de parafuso a seco, pertencente à gama de qualidade comprovada COBRA BC, que oferece soluções compactas de última geração para antecâmaras e sistemas de transferência selados, com funcionalidades adicionais de processamento para as aplicações mais exigentes em painéis solares, em ecrãs planos e em semicondutores. Esta bomba de vácuo oferece excelentes capacidades de trabalho com pós que resultam do seu desenho único de bomba de parafuso.

Equipada com motores de alta eficiência, com modo de standby de última geração, a bomba COBRA BC 0100 F oferece um excelente potencial de poupança de energia

Devido ao seu design otimizado e ao potencial de poupança de energia, o custo global de possuir esta bomba de vácuo da série COBRA é reduzido.

Aplicações
 

  • High-density plasma CVD (HDP CVD)
  • Rapid thermal processing (RTP)
  • Sub-atmospheric CVD (SACVD)
  • Metal-organic CVD (MOCVD)
  • Plasma-enhanced CVD (PECVD)
  • Low-pressure CVD (LPCVD)
  • Atomic layer deposition (ALD)
  • High-capacity Load Lock

COBRA – o novo patamar de bombas de vácuo de elevada capacidade para os trabalhos mais duros.

COBRA – o novo patamar de bombas de vácuo de elevada capacidade para os trabalhos mais duros.

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Especificações técnicas

Especificações técnicas
A bomba COBRA BC 0100 F funciona com dois rotores de parafuso que giram em sentidos opostos. Deste modo, o meio a aspirar é aprisionado nas câmaras entre o cilindro e as hélices dos parafusos e é transportado até à descarga de gás. O mecanismo de parafuso minimiza as áreas de deslizamento no interior da bomba, apresentando desta forma um excelente comportamento no reinício da bomba e elevada capacidade no processamento de pós.

O avançado design de parafuso resulta num consumo elétrico reduzido quando comparado com soluções standard. Também origina uma carga térmica mais reduzida do gás comprimido. As bombas da série BC utilizam um método de arrefecimento direto que resulta em temperaturas uniformes ao longo de todo o corpo da bomba, eliminado os pontos frios e garantindo a estabilidade térmica da câmara de água.

O design exclusivo de parafuso de “apoio suspenso” elimina os problemas com os rolamentos de entrada e permite uma redução no espaço necessário.

As bombas de vácuo de parafusos COBRA BC também estão disponíveis com um revestimento especial para o processamento de gases e vapores corrosivos.

Desenho COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Capacidade de sucção

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10%

50 Hz 60 Hz
Capacidade de sucção
Características técnicas COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Caudal nominal da bomba 100 m³/h 165 m³/h
Pressão final 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Potência nominal do motor 1,5 kW 2,9 kW
Velocidade nominal do motor 3600 min-1 4570 min-1
Consumo energético à pressão final 1,3 kW 1,6 kW
Nível sonoro (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Consumo de água 1,0 l/min 2,0 l/min
Consumo de ar comprimido 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aproximado 120 kg 130 kg
Dimensões (C x L x A) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Entrada/saída do gás DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Especificações técnicas

Especificações técnicas
A bomba COBRA BC 0100 F funciona com dois rotores de parafuso que giram em sentidos opostos. Deste modo, o meio a aspirar é aprisionado nas câmaras entre o cilindro e as hélices dos parafusos e é transportado até à descarga de gás. O mecanismo de parafuso minimiza as áreas de deslizamento no interior da bomba, apresentando desta forma um excelente comportamento no reinício da bomba e elevada capacidade no processamento de pós.

O avançado design de parafuso resulta num consumo elétrico reduzido quando comparado com soluções standard. Também origina uma carga térmica mais reduzida do gás comprimido. As bombas da série BC utilizam um método de arrefecimento direto que resulta em temperaturas uniformes ao longo de todo o corpo da bomba, eliminado os pontos frios e garantindo a estabilidade térmica da câmara de água.

O design exclusivo de parafuso de “apoio suspenso” elimina os problemas com os rolamentos de entrada e permite uma redução no espaço necessário.

As bombas de vácuo de parafusos COBRA BC também estão disponíveis com um revestimento especial para o processamento de gases e vapores corrosivos.

Desenho
COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Capacidade de sucção

Ar a 20 °C. Tolerância: ± 10%

50 Hz
60 Hz
Capacidade de sucção
Características técnicas COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Caudal nominal da bomba 100 m³/h 165 m³/h
Pressão final 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Potência nominal do motor 1,5 kW 2,9 kW
Velocidade nominal do motor 3600 min-1 4570 min-1
Consumo energético à pressão final 1,3 kW 1,6 kW
Nível sonoro (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Consumo de água 1,0 l/min 2,0 l/min
Consumo de ar comprimido 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Peso aproximado 120 kg 130 kg
Dimensões (C x L x A) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Entrada/saída do gás DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Transferências

COBRA BC 0100 / 0200 F

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