COBRA DS 2141 A
Bomba de vácuo de parafuso a seco
A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes
Alto desempenho
Design de parafuso avançado, excelentes características de funcionamento, booster de vácuo integrado, excelente capacidade de manipulação de pó, perfeitamente adequada para aplicações em semicondutores, produção de displays de ecrã plano e para aplicações a energia solar
Eficiente
Baixo custo de propriedade, manutenção mínima, intervalos de manutenção longos, elevado tempo de atividade, eficiente refrigeração indireta por água, caudal de hidrogénio elevado, regulação variável da temperatura, nível de vibração reduzido
Compacta
Design compacto adaptado ao local de instalação, motor monobloco montado diretamente, painel de controlo integrado, bomba primária e booster de vácuo combinados numa estrutura de suporte compacta
Especificações técnicas
Mercados e aplicações
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Em atualização – adsorção por alteração de pressão
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Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)
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Câmaras de bloqueio de carga
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Díodo orgânico emissor de luz (OLED)
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Deposição física de vapor (PVD)
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Médio
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Exigente
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Ligeiro
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Deposição física de vapor (PVD)
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Laminação
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Fundição de lingotes
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Câmaras de bloqueio de carga
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Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)