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COBRA DS 0600 E

Trockene Schrauben-Vakuumpumpe

Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Prozesse

Herausragende Leistung

Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie, hervorragende Laufeigenschaften, optimal geeignet für die chemische Gasphasenabscheidung, Rapid Thermal Processing oder Atomic Layer Deposition

Effizient

Niedrige Betriebskosten, minimale Wartung, lange Service-Intervalle, hohe Verfügbarkeit, effiziente indirekte Wasserkühlung, hoher Wasserstoffdurchsatz

Kompakt

Platzsparende Konstruktion, direkt montierter Spaltrohrmotor

Technische Ausführung

Märkte und Anwendungen

Flachbildschirmproduktion
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Load-Lock-Kammern
  • Organische Leuchtdiode (OLED)
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD-Verfahren)
Produktion von Lithium-Ionen-Batterien
  • Entgasung
Halbleiterproduktion
  • Mittel
  • Hart
  • Leicht
Solarindustrie
  • Blockguss
  • Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)

Zubehör

  • Tantalbeschichtung für raue Einsatzbedingungen