COBRA BC 0601–1200 A/G
Tørtløbende skruevakuumpumper
Den ideelle løsning til let til medium semicon applikationer
Høj ydeevne
Avanceret skruedesign, klokkeformet konstruktion, patenterede, selvafbalancerende skruer, fremragende driftsegenskaber, integreret vakuumbooster, perfekt til processer med kold, atomar lagdeponering, indføringssluser og overførselskamre, metrologi, litografi, fysisk dampaflejring, processer med hurtig termisk glødning og ætsning som oxider, silicium og metal
Effektiv
Lave ejeromkostninger, minimal vedligeholdelse, lange vedligeholdelsesintervaller, driftssikker, direkte vandkøling
Kompakt
Praktisk design, direkte monteret, indkapslet motor, forpumpe og vakuum booster kombineret på en kompakt basisramme
Tekniske specifikationer
Markeder og anvendelser
-
Mellem
-
Fysisk dampaflejring (PVD)