Opdater din browser.

Det ser ud til, at du bruger en gammel version af browseren Microsoft Edge. Opdater din browser for at få den bedste oplevelse med Busch's websted.

COBRA Semicon

Tørtløbende skruevakuumpumper

cobra_bc_1000_f

COBRA Semicon tørtløbende skruevakuumpumper er det ideelle valg til alle krævende processer i produktionen af fotovoltaiske celler, fladskærme, semicon og i talrige industrielle coating applikationer.

Driftsprincippet for COBRA Semicon er baseret på vores nyeste skrueteknologi. Med deres patenterede, selvbalancerende skruer sætter de nye standarder for effektivitet.

COBRA Semicon kombinerer store produktionsmængder med høj damp- og partikeltolerance. Partikelladede medier kan derfor evakueres uden problemer.

Det olie- og berøringsfri driftsprincip sikrer lave drifts- og vedligeholdelsesomkostninger samt en lang livscyklus.

COBRA Semicons kompakte dimensioner gør installationen nem – selv på meget begrænset plads.

Driftsprincip

I COBRA Semicon tørtløbende skruevakuumpumper roterer to skruerotorer i modsatte retninger. Det pumpede medie fanges mellem cylinderen og skruekamrene. Her komprimeres det og transporteres til udløbet. Under denne proces kommer skruerotorerne ikke i kontakt med hinanden eller med cylinderen.

Oplev vores COBRA Semicon serie

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
Den luftkølede Plug&Pump løsning

  • Avanceret skruedesign
  • Tørt og berøringsfrit driftsprincip
  • Unikt design med "flyvende leje"
  • Cantileverkonstruktion
  • Kompakt design
  • Effektiv luftkøling
  • Valgfri frekvensomformer

Fordele ved COBRA BA serien

COBRA BA er anerkendte, tørtløbende skruevakuumpumper, som er perfekt egnede til krævende processer såsom sterilisering, metallurgi, genvinding af gas samt til varmeanvendelser.

Det patenterede, selvafbalancerende skruedesign sikrer de laveste vibrationsniveauer og støjsvag drift.

COBRA BA vakuumpumper har en klokkeformet cantileverkonstruktion: Dobbeltrotoren med variabel skruestigning er kun monteret på motorsiden. Takket være det unikke design med "flyvende leje" er lejer på indløbssiden unødvendige. Derfor kommer det pumpede medie ikke i kontakt med lejerne. Dette sikrer generering af rent vakuum og muliggør fuld genindvinding af det pumpede medie.

COBRA BA vakuumpumper er kendetegnet ved effektiv luftkøling.

COBRA BA seriens dimensioner er meget kompakte på grund af den direkte monterede og indkapslede motor.

Alle COBRA BA produkter

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    Sluttryk:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    85 m³/t

    Få mere at vide

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
Den ideelle løsning til let til medium semicon applikationer

  • Avanceret skruedesign
  • Tørt og berøringsfrit driftsprincip
  • Unikt design med "flyvende leje"
  • Cantileverkonstruktion
  • Kompakt, praktisk design
  • Direkte vandafkøling
  • Helt åben kommunikationsprotokol

Video: Sådan virker COBRA BC vakuumpumper

thumbnail_cobra_bc_series

Marketing cookies skal accepteres for at se denne video.

Accept marketing-cookies

Fordele ved COBRA BC serien

COBRA BC vakuumpumper er perfekt egnede til at klare opgaver i load lock chambers og overførselskamre. Andre anvendelser er bl.a. metrologi, litografi, fysisk dampaflejring, hurtig termisk glødning og siliciumætsning.

Det patenterede, selvafbalancerende skruedesign sikrer de laveste vibrationsniveauer og støjsvag drift.

Skruerne i COBRA BC vakuumpumper er fremstillet i en afstøbning i ét stykke for at undgå huller. Dette bevirker, at det ikke er muligt for væsker eller partikler at trænge ind under processen. Hermed forhindres korrosion og aflejring.

COBRA BC vakuumpumper har en klokkeformet cantileverkonstruktion: Dobbeltrotoren med variabel skruestigning er kun monteret på motorsiden. Takket være det unikke design med "flyvende leje" er lejer på indløbssiden unødvendige. Derfor kommer det pumpede medie ikke i kontakt med lejerne. Dette sikrer generering af rent vakuum og muliggør fuld genindvinding af det pumpede medie.

Vakuumpumperne i COBRA BC serien er med effektiv, direkte vandafkøling. Derfor opretholdes en jævn temperaturfordeling i hele pumpehuset. Derudover sikres termisk stabilitet under processen.

Den helt åbne kommunikationsprotokol (Modbus TCP-IP) giver mulighed for at kontrollere alle funktioner. Dette inkluderer tomgang og variabelt hastighedsdrev. Kommunikationsprotokollen kan nemt tilpasses en bestemt netværksprotokol med standard interfacekomponenter.

COBRA BC seriens dimensioner er meget kompakte på grund af den direkte monterede og indkapslede motor. På grund af deres praktiske design kan de nemt og hurtigt eftermonteres på eksisterende systemer.

Alle COBRA BC produkter

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    Sluttryk:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    min. 100 m³/t max. 165 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Sluttryk:
    0,005 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    min. 115 m³/t max. 175 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    Sluttryk:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    100 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    Sluttryk:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    520 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Sluttryk:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    530 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Sluttryk:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    min. 870 m³/t max. 550 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    Sluttryk:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    min. 930 m³/t max. 1580 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Sluttryk:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    955 m³/t

    Få mere at vide

COBRA DS

cobra_ds_1200_a
Den nye generation af tørtløbende vakuumpumper til krævende processer

  • Avanceret skruedesign
  • Tørt og berøringsfrit driftsprincip
  • Fremragende pulverbehandling
  • Effektiv, indirekte vandafkøling
  • Kompakt, praktisk design
  • Høj pumpehastighed til udledning af hydrogen
  • Meget effektiv motor
  • Størrelser med integreret vakuum booster tilgængelige

Fordele ved COBRA DS serien

COBRA DS tørtløbende skruevakuumpumper er de ideelle vakuumgeneratorer til krævende processer. Selv under forhold med krav om en gennemløbsmængde med et højt hydrogenniveau. Derfor egner de sig perfekt til kemisk dampaflejring, hurtige termiske processer eller atomar lagdeponering.

Forskellige størrelser i COBRA DS serien har en integreret vakuumbooster med høj ydeevne. Denne kombination med forpumpe og booster gør det muligt at opnå forøgede pumpehastigheder og sluttryk.

Det patenterede, selvafbalancerende skruedesign sikrer fremragende pulverbehandling og driftssikkerhed.

Skruerne i COBRA DS vakuumpumper er fremstillet i en afstøbning i ét stykke for at undgå huller. Dette bevirker, at det ikke er muligt for væsker eller partikler at trænge ind under processen. Hermed forhindres korrosion og aflejring.

Vakuumpumperne i COBRA DS serien er med effektiv, indirekte vandafkøling. Det gør det muligt at kontrollere distribueringen i hele pumpehuset. Respons på procesvariationer er mulig når som helst.

På grund af deres praktiske design kan COBRA DS nemt og hurtigt eftermonteres på eksisterende systemer.

Alle COBRA DS produkter

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    Sluttryk:
    0,03 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    min. 70 m³/t max. 140 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    Sluttryk:
    0,01 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    600 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    Sluttryk:
    0,003 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    min. 500 m³/t max. 1365 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Sluttryk:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    min. 4200 m³/t max. 6000 m³/t

    Få mere at vide
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Sluttryk:
    0,001 hPa (mbar)
    Nominel pumpehastighed:
    min. 7000 m³/t max. 7385 m³/t

    Få mere at vide