COBRA Semicon
Tørtløbende skruevakuumpumper
COBRA Semicon tørtløbende skruevakuumpumper er det ideelle valg til alle krævende processer i produktionen af fotovoltaiske celler, fladskærme, semicon og i talrige industrielle coating applikationer.
Driftsprincippet for COBRA Semicon er baseret på vores nyeste skrueteknologi. Med deres patenterede, selvbalancerende skruer sætter de nye standarder for effektivitet.
COBRA Semicon kombinerer store produktionsmængder med høj damp- og partikeltolerance. Partikelladede medier kan derfor evakueres uden problemer.
Det olie- og berøringsfri driftsprincip sikrer lave drifts- og vedligeholdelsesomkostninger samt en lang livscyklus.
COBRA Semicons kompakte dimensioner gør installationen nem – selv på meget begrænset plads.
Driftsprincip
I COBRA Semicon tørtløbende skruevakuumpumper roterer to skruerotorer i modsatte retninger. Det pumpede medie fanges mellem cylinderen og skruekamrene. Her komprimeres det og transporteres til udløbet. Under denne proces kommer skruerotorerne ikke i kontakt med hinanden eller med cylinderen.Oplev vores COBRA Semicon serie
COBRA BA
- Avanceret skruedesign
- Tørt og berøringsfrit driftsprincip
- Unikt design med "flyvende leje"
- Cantileverkonstruktion
- Kompakt design
- Effektiv luftkøling
- Valgfri frekvensomformer
Fordele ved COBRA BA serien
COBRA BA er anerkendte, tørtløbende skruevakuumpumper, som er perfekt egnede til krævende processer såsom sterilisering, metallurgi, genvinding af gas samt til varmeanvendelser.
Det patenterede, selvafbalancerende skruedesign sikrer de laveste vibrationsniveauer og støjsvag drift.
COBRA BA vakuumpumper har en klokkeformet cantileverkonstruktion: Dobbeltrotoren med variabel skruestigning er kun monteret på motorsiden. Takket være det unikke design med "flyvende leje" er lejer på indløbssiden unødvendige. Derfor kommer det pumpede medie ikke i kontakt med lejerne. Dette sikrer generering af rent vakuum og muliggør fuld genindvinding af det pumpede medie.
COBRA BA vakuumpumper er kendetegnet ved effektiv luftkøling.
COBRA BA seriens dimensioner er meget kompakte på grund af den direkte monterede og indkapslede motor.
COBRA BC
- Avanceret skruedesign
- Tørt og berøringsfrit driftsprincip
- Unikt design med "flyvende leje"
- Cantileverkonstruktion
- Kompakt, praktisk design
- Direkte vandafkøling
- Helt åben kommunikationsprotokol
Video: Sådan virker COBRA BC vakuumpumper
Fordele ved COBRA BC serien
COBRA BC vakuumpumper er perfekt egnede til at klare opgaver i load lock chambers og overførselskamre. Andre anvendelser er bl.a. metrologi, litografi, fysisk dampaflejring, hurtig termisk glødning og siliciumætsning.
Det patenterede, selvafbalancerende skruedesign sikrer de laveste vibrationsniveauer og støjsvag drift.
Skruerne i COBRA BC vakuumpumper er fremstillet i en afstøbning i ét stykke for at undgå huller. Dette bevirker, at det ikke er muligt for væsker eller partikler at trænge ind under processen. Hermed forhindres korrosion og aflejring.
COBRA BC vakuumpumper har en klokkeformet cantileverkonstruktion: Dobbeltrotoren med variabel skruestigning er kun monteret på motorsiden. Takket være det unikke design med "flyvende leje" er lejer på indløbssiden unødvendige. Derfor kommer det pumpede medie ikke i kontakt med lejerne. Dette sikrer generering af rent vakuum og muliggør fuld genindvinding af det pumpede medie.
Vakuumpumperne i COBRA BC serien er med effektiv, direkte vandafkøling. Derfor opretholdes en jævn temperaturfordeling i hele pumpehuset. Derudover sikres termisk stabilitet under processen.
Den helt åbne kommunikationsprotokol (Modbus TCP-IP) giver mulighed for at kontrollere alle funktioner. Dette inkluderer tomgang og variabelt hastighedsdrev. Kommunikationsprotokollen kan nemt tilpasses en bestemt netværksprotokol med standard interfacekomponenter.
COBRA BC seriens dimensioner er meget kompakte på grund af den direkte monterede og indkapslede motor. På grund af deres praktiske design kan de nemt og hurtigt eftermonteres på eksisterende systemer.
COBRA DS
- Avanceret skruedesign
- Tørt og berøringsfrit driftsprincip
- Fremragende pulverbehandling
- Effektiv, indirekte vandafkøling
- Kompakt, praktisk design
- Høj pumpehastighed til udledning af hydrogen
- Meget effektiv motor
- Størrelser med integreret vakuum booster tilgængelige
Fordele ved COBRA DS serien
COBRA DS tørtløbende skruevakuumpumper er de ideelle vakuumgeneratorer til krævende processer. Selv under forhold med krav om en gennemløbsmængde med et højt hydrogenniveau. Derfor egner de sig perfekt til kemisk dampaflejring, hurtige termiske processer eller atomar lagdeponering.
Forskellige størrelser i COBRA DS serien har en integreret vakuumbooster med høj ydeevne. Denne kombination med forpumpe og booster gør det muligt at opnå forøgede pumpehastigheder og sluttryk.
Det patenterede, selvafbalancerende skruedesign sikrer fremragende pulverbehandling og driftssikkerhed.
Skruerne i COBRA DS vakuumpumper er fremstillet i en afstøbning i ét stykke for at undgå huller. Dette bevirker, at det ikke er muligt for væsker eller partikler at trænge ind under processen. Hermed forhindres korrosion og aflejring.
Vakuumpumperne i COBRA DS serien er med effektiv, indirekte vandafkøling. Det gør det muligt at kontrollere distribueringen i hele pumpehuset. Respons på procesvariationer er mulig når som helst.
På grund af deres praktiske design kan COBRA DS nemt og hurtigt eftermonteres på eksisterende systemer.
