Driftsprincip
Den grundlæggende komponent i diffusionsvakuumpumper er en cylindrisk pumpeenhed med en opvarmelig bund. Olie bruges som en væske og opvarmes. Dampen fra denne olie stiger op i dysesystemet. Derefter sendes den gennem flere dampstrålestadier og ud af systemet under højt tryk.
Molekylerne i procesgassen fanges af disse dampstråler og transporteres nedad mod udløbet i forpumpen. Oliedampene kondenseres på indersiden af den vandkølede pumpeenhed og ledes tilbage til bunden.
