Gasreduktionssystemer

GABA AWE er vores innovative vådskrubbere, specialudviklet til kritiske EPI-processer i semicon industrien. De kombinerer maksimal pålidelighed med den højeste grad af processtabilitet.

Vores AWE-serie er udstyret med en patenteret indsugning til skadelige gasser, der hindrer tilstopning af skrubberens indsugning. Det giver længere levetid og samtidig lave driftsomkostninger. Vedligeholdelsen er begrænset til at skifte det udstyr, der hindrer tilstopning af indsugningen, med nærmere angivne serviceintervaller. Det gøres nemt uden at skulle demontere enheden.

GABA AWE's særlige udformning gør brug af en honningfælde til udskillelse af produkter fra produktionsprocessen helt overflødig. Den våde skrubber kan klare alle procesrester uden at blokere gasindsugningen. Vandopløselige restprodukter reagerer i skrubbevæsken, faste stoffer udskilles som partikler eller pumpes væk med spildevandet under kørslen.

Vakuum til produktionsprocessen dannes og kontrolleres aktivt via en hastighedskontrolleret venturienhed. Det sikrer et ensartet procestryk på produktionsfabrikken og fejlfri drift. Alle procesindstillinger kan udføres via en programmerbar, logisk styreenhed (PLC) med farveskærm og touchskærm.

GABA AFC-gasreduktionssystemer er designet til at reducere eller fjerne farlige gasser og luftforurenende stoffer under produktionsprocessen. Grundlæggende set ændrer de gassernes kemiske sammensætning. Ved at bruge en kombination af flammeløs, katalytisk, termisk oxidering og termisk vådgasreduktionsteknologi kan brændbare og opløselige gasser behandles.

GABA AFC bruger en højtemperaturopvarmningsenhed med opvarmede katalysatorer. Det giver en perfekt forbrænding uden flamme. Det er afgørende at sikre en passende temperatur og korrekte driftsvæsker for at kunne fjerne uønskede gasser endnu mere effektivt. Det termiske system giver stabile behandlingsforhold, samtidig med at der dannes væsentligt færre restprodukter (dvs. NO_x, CO₂osv.). Vandopløselige gasser, restprodukter og varme gasser fra reaktionskammeret behandles derefter i vådkammeret.

For at undgå kontaminering under vedligeholdelse er GABA AFC udformet som systemer med fuld udskiftning. Alle moduler kan udskiftes enkeltvist uden at åbne kammeret.

Gasreduktionssystemerne i AFC-serien leveres med fire procesindsugninger som standard. Systemet kan således sluttes til fire forskellige kamre på et procesværktøj eller til flere stykker værktøj, alt efter anvendelsen.

Gasreduktionssystemer afgifter farlige gasser og luftforurenende stoffer under fremstillingsprocesser. Denne proces er nødvendig for at slippe dem ud i atmosfæren på en sikker måde. Forskellige gasser kræver forskellige behandlingsteknologier, såsom termisk, våd eller en kombination af disse to teknologier.

Gasreduktion er den proces, hvorved de kemiske sammensætninger af farlige gasser og luftforurenende stoffer ændres. Dette er nødvendigt, for at de kan slippe ud i atmosfæren uden at skade dyr eller mennesker.

Flammeløst katalytisk
Dette katalysatorsystem kombinerer flammeløs, katalytisk termisk oxidering og våd behandlingsteknologi for at reducere de antændelige, vandopløselige gasser og NF₃. Pulver og vandopløselige gassser, der kan genereres i forbindelse med den termiske oxidering, fanges i flertrins befugtningszonen opstrøms.

Termisk våd
Elektrisk varme- og vådbehandlingsteknologi kombineres i ét system for at reducere de hydridbaserede gasser, såsom NH₃, SiH₄, men også NF₃. I brændingskammeret ændres de brændbare og letantændelige procesgassers kemi af den termiske oxidering. Derefter opløses de vandopløselige gasser i vådkammeret opstrøms.

Vådskrubber
I fire individuelle reaktionskamre sprøjtes udstødningsgasstrømmen, især fra epitaxiprocesser, med vand. Faste biprodukter fanges i vanddråber og opløses. Derefter udskiller en absorber vandet fra udløbsgasstrømmen.