Gasreduktionssystemer
Vores løsning: GABA
I semicon industrien anvendes der gasser, der er giftige, antændelige og endda skadelige ikke bare for miljøet, men også for mennesker. For eksempel ved produktion af mikrochips. Ifølge national lovgivning skal disse gasser reduceres. Det betyder, at de reduceres til under den respektive tærskelgrænseværdi (TLV).
Forskellige gasser kræver forskellige behandlingsteknologier, såsom termisk, våd eller en kombination af begge teknologier. Derefter kan procesudstødningsgassserne udledes i atmosfæren. Uden at skade naturen. For en grønnere verden.
GABA AWE
- Innovativ vådskrubberteknologi
- Til kritiske EPI-processer i semicon industrien
- Patenteret udstyr til hindring af tilstopning af indsugningen
- Forlængede vedligeholdelsesintervaller
- Unødvendigt med honningfælde til opsamling af restprodukter
- Hastighedskontrolleret venturienhed
- Fire procesindsugninger til tilslutning af fire forskellige kamre
Fordele ved GABA AWE serien
GABA AWE er vores innovative vådskrubbere, specialudviklet til kritiske EPI-processer i semicon industrien. De kombinerer maksimal pålidelighed med den højeste grad af processtabilitet.
Vores AWE-serie er udstyret med en patenteret indsugning til skadelige gasser, der hindrer tilstopning af skrubberens indsugning. Det giver længere levetid og samtidig lave driftsomkostninger. Vedligeholdelsen er begrænset til at skifte det udstyr, der hindrer tilstopning af indsugningen, med nærmere angivne serviceintervaller. Det gøres nemt uden at skulle demontere enheden.
GABA AWE's særlige udformning gør brug af en honningfælde til udskillelse af produkter fra produktionsprocessen helt overflødig. Den våde skrubber kan klare alle procesrester uden at blokere gasindsugningen. Vandopløselige restprodukter reagerer i skrubbevæsken, faste stoffer udskilles som partikler eller pumpes væk med spildevandet under kørslen.
Vakuum til produktionsprocessen dannes og kontrolleres aktivt via en hastighedskontrolleret venturienhed. Det sikrer et ensartet procestryk på produktionsfabrikken og fejlfri drift. Alle procesindstillinger kan udføres via en programmerbar, logisk styreenhed (PLC) med farveskærm og touchskærm.
Alle GABA AWE produkter
GABA ATW
- Kombination af flammeløs, katalytisk og termisk vådgasreduktionsteknologi
- Behandling af brændbare og opløselige gasser
- Elektrisk opvarmningsenhed til høje temperaturer
- Fire procesindsugninger til tilslutning af fire forskellige kamre
Fordele ved GABA ATW serien
GABA ATW-gasreduktionssystemer benytter termisk-våd gasreduktionsteknologi. Det betyder, at de kan ændre kemien i procesgasserne. Ved hjælp af flammeløs, termisk oxidation, når det drejer sig om brændbare og pyroforiske gasser, og ved hjælp af vandopløsning, når det drejer sig om vandopløselige gasser.
ATW'en kan komme op på temperaturer, der er lige så høje som i et forbrændingsskrubbersystem, uden at bruge naturgas, men ved hjælp af elektrisk energi. Det fjerner alle de risici, der er forbundet med gasser i produktionsprocesserne.
Vores GABA ATW er udformet til at kunne sluttes til fabrikkens generelle udsugningssystem. Disse gasreduktionssystemer er udstyret med fire procesindsugninger. Systemet kan således sluttes til fire forskellige kamre på et procesværktøj eller til flere stykker værktøj, alt efter anvendelsen.
Alle GABA ATW produkter
Ofte stillede spørgsmål
Hvad er et gasreduktionssystem?
Gasreduktionssystemer afgifter farlige gasser og luftforurenende stoffer under fremstillingsprocesser. Denne proces er nødvendig for at slippe dem ud i atmosfæren på en sikker måde. Forskellige gasser kræver forskellige behandlingsteknologier, såsom termisk, våd eller en kombination af disse to teknologier.
Hvad er gasreduktion?
Gasreduktion er den proces, hvorved de kemiske sammensætninger af farlige gasser og luftforurenende stoffer ændres. Dette er nødvendigt, for at de kan slippe ud i atmosfæren uden at skade dyr eller mennesker.
Driftsprincip
Flammeløst katalytisk
Dette katalysatorsystem kombinerer flammeløs, katalytisk termisk oxidering og våd behandlingsteknologi for at reducere de antændelige, vandopløselige gasser og NF₃. Pulver og vandopløselige gassser, der kan genereres i forbindelse med den termiske oxidering, fanges i flertrins befugtningszonen opstrøms.
Termisk våd
Elektrisk varme- og vådbehandlingsteknologi kombineres i ét system for at reducere de hydridbaserede gasser, såsom NH₃, SiH₄, men også NF₃. I brændingskammeret ændres de brændbare og letantændelige procesgassers kemi af den termiske oxidering. Derefter opløses de vandopløselige gasser i vådkammeret opstrøms.
Vådskrubber
I fire individuelle reaktionskamre sprøjtes udstødningsgasstrømmen, især fra epitaxiprocesser, med vand. Faste biprodukter fanges i vanddråber og opløses. Derefter udskiller en absorber vandet fra udløbsgasstrømmen.