Próżnia w produkcji półprzewodników

Pompy próżniowe firmy Busch są używane przez czołowych producentów półprzewodników i są znane ze swojej niezawodności. Są wynikiem wieloletniego wsłuchiwania się w potrzeby naszych partnerów z branży półprzewodników i ich wymagań dotyczących procesów.

Pomożemy Ci znaleźć idealne rozwiązanie spełniające wymagania Twoich procesów.

Usługi dla branży półprzewodników

ARPQP
Nowa usługa regeneracji pomp próżniowych firmy Busch. Skierowana w szczególności do branży półprzewodników i paneli.
Więcej informacji
Pełne zarządzanie sub fab
Kompleksowe rozwiązanie serwisowe na miejscu zapewniające bezpieczne i stabilne środowisko produkcyjne w Twojej fabryce półprzewodników.
Dowiedz się więcej
Semiconductor service locations
Find your semiconductor service location.
Learn more

NASZE ROZWIĄZANIA DO PRODUKCJI PÓŁPRZEWODNIKÓW

Rozwiązania próżniowe firmy Busch są preferowanym wyborem do wszystkich zastosowań związanych z półprzewodnikami. Tam, gdzie wysoka niezawodność, niski koszt posiadania i inteligentna komunikacja między narzędziami półprzewodnikowymi są absolutną koniecznością. Od komór załadowczych do najbardziej wymagających procesów generowania cząstek. Dostarczyliśmy systemy próżniowe do wiodących na świecie fabryk półprzewodników. A po dostawie klienci mogą liczyć na pomoc techniczną na miejscu z jednego źródła.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Lekkie (komory załadunkowe i transferowe, metrologia, litografia)	✓	✓	✓	✓
Średnie (procesy PVD, czyszczenie wstępne PVD, RTA, rozpuszczanie/spopielanie, trawienie tlenków, trawienie krzemu)	✓		✓	✓
Ciężkie (trawienie metali, źródło implantacyjne, HDP, CVD, RTP, epitaksja, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓