Zaktualizuj przeglądarkę.

Wygląda na to, że używasz starej wersji przeglądarki Microsoft Edge. Aby czerpać jak najwięcej ze strony internetowej Busch, zaktualizuj używaną przeglądarkę.

Próżnia w produkcji półprzewodników

semicon_stage_foto

Pompy próżniowe firmy Busch są używane przez czołowych producentów półprzewodników i są znane ze swojej niezawodności. Są wynikiem wieloletniego wsłuchiwania się w potrzeby naszych partnerów z branży półprzewodników i ich wymagań dotyczących procesów.

Pomożemy Ci znaleźć idealne rozwiązanie spełniające wymagania Twoich procesów.

Znajdź swoje rozwiązanie w zakresie usług dla półprzewodników w Busch Group

Busch Group, światowy lider w dziedzinie technologii próżniowej, łączy dwie profesjonalne marki: Busch Vacuum Solutions i Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Razem oferują one kompleksowe portfolio rozwiązań próżniowych i usług dostosowanych do branży półprzewodników.

Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions dysponuje specjalistyczną wiedzą w zakresie wysokiej i bardzo wysokiej próżni oraz wykrywania wycieków, zwłaszcza w zastosowaniach związanych z półprzewodnikami. Dzięki ugruntowanej pozycji w branży półprzewodników firma Pfeiffer zapewni najlepsze możliwe usługi. Niezależnie od tego, czy chodzi o regenerację pomp próżniowych, czy też pełne zarządzanie sub fab, Pfeiffer zapewnia bezpieczeństwo procesów produkcji półprzewodników.

Usługi dla branży półprzewodników

  • con23_293_newimagelandingpagesemiconsemciconlocation

    Lokalizacje serwisowe półprzewodników

    Znajdź lokalizację serwisową półprzewodników.

    Dowiedz się więcej

Nasze Rozwiązania Do Produkcji Półprzewodników

Rozwiązania próżniowe firmy Busch są preferowanym wyborem do wszystkich zastosowań związanych z półprzewodnikami. Tam, gdzie wysoka niezawodność, niski koszt posiadania i inteligentna komunikacja między narzędziami półprzewodnikowymi są absolutną koniecznością. Od komór załadowczych do najbardziej wymagających procesów generowania cząstek. Dostarczyliśmy systemy próżniowe do wiodących na świecie fabryk półprzewodników. A po dostawie klienci mogą liczyć na pomoc techniczną na miejscu z jednego źródła.
VACTEST
Lekkie (komory załadunkowe i transferowe, metrologia, litografia)
Średnie (procesy PVD, czyszczenie wstępne PVD, RTA, rozpuszczanie/spopielanie, trawienie tlenków, trawienie krzemu)
Ciężkie (trawienie metali, źródło implantacyjne, HDP, CVD, RTP, epitaksja, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)