Próżnia w produkcji półprzewodników
Pompy próżniowe firmy Busch są używane przez czołowych producentów półprzewodników i są znane ze swojej niezawodności. Są wynikiem wieloletniego wsłuchiwania się w potrzeby naszych partnerów z branży półprzewodników i ich wymagań dotyczących procesów.
Pomożemy Ci znaleźć idealne rozwiązanie spełniające wymagania Twoich procesów.
Usługi dla branży półprzewodników
| COBRA | TORRI | VACTEST | TAPIR | |
| Lekkie (komory załadunkowe i transferowe, metrologia, litografia) | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| Średnie (procesy PVD, czyszczenie wstępne PVD, RTA, rozpuszczanie/spopielanie, trawienie tlenków, trawienie krzemu) | ✓ | ✓ | ✓ | |
| Ciężkie (trawienie metali, źródło implantacyjne, HDP, CVD, RTP, epitaksja, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD) | ✓ | ✓ | ✓ |
