까다로운 공정을 위한 신세대 건식 진공 펌프
고성능
고급 스크류 설계, 우수한 작동 품질, 통합 진공 부스터, 태양열, 평면 패널 및 반도체 응용 분야, 가스 온도가 높은 가혹한 공정(예: 에칭 및 CVD)에 매우 적합, 우수한 파우더 처리, 가혹한 활용 분야를 위한 탄탈 코팅 스크류
효율성
낮은 소유 비용, 최소한의 유지보수, 긴 서비스 간격, 높은 가동 시간, 높은 수소 처리량, 낮은 에너지 소비, 가변 온도 조절
컴팩트
어디에나 설치 가능한 디자인, 직결식 캔드 모터, 컴팩트형 베이스 프레임에서 보조 펌프 및 진공 부스터 결합, 낮은 진동 수준
기술 사양
시장 & 어플리케이션
평면 패널 디스플레이 생산용
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)
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로드 록 챔버
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유기 발광 다이오드(OLED)
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물리적 증착(PVD)
리튬 이온 배터리 생산용
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탈기
반도체 제조
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Medium
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Harsh
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Light
태양열 발전 산업용
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플라즈마 촉진 화학 증착법(PECVD)