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TORRI

다단계 회전 로브 진공 펌프

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TORRI 다단계 회전 로브 진공 펌프는 로드록(Load lock) 챔버의 펌프다운에 적합한 컴팩트하고 에너지 효율적인 솔루션입니다.

매우 낮은 기압의 최대 진공도와 동급 최고의 챔버 펌핑시간이 특징입니다.

작동 원리

TORRI BD 진공 펌프는 검증된 회전 로브 원리에 따라 작동합니다. 펌프로 유입된 가스는 로브의 회전에 의해 첫 번째 스테이지에서 다음 스테이지로 이송되며, 최종적으로 배출구로 배출됩니다.

로브의 특별한 외형과 정밀한 생산 공정 덕분에 로브끼리 또는 실린더와 마찰이 일어나지 않습니다. 컴프레서 챔버 내부에 추가적인 윤활제나 사용 유체(오일,물 등)가 사용되지 않습니다.

로브는 직결식 수냉 전기 모터에 의해 동기화되어 구동됩니다.

TORRI BD

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로드록(Load lock) 챔버에 적합한 컴팩트하고 에너지 효율적인 솔루션

  • 저진동 및 저소음
  • 경량
  • 작은 사이즈
  • 건식 비접촉 작동 원리
  • 긴 사용 수명
  • 낮은 소유 총 비용

TORRI BD 시리즈의 장점

TORRI BD는 시판되는 제품 중 가장 작고 가벼우며 에너지 효율적인 건식 다단계 회전 로브 진공 펌프입니다. 이러한 특성 덕분에 로드록(Load lock) 챔버의 펌프다운에 이상적인 솔루션입니다.

검증된 작동 원리에 의해 낮은 최대 진공도가 달성됩니다. 동급 최고의 챔버 펌핑 시간으로 총 평균 사이클 횟수를 줄일 수 있습니다.

완전 개방형 데이터 교환 프로토콜(Modbus RTU)이 채택되어 어떤 특정 네트워크 프로토콜에도 표준 인터페이스 컴포넌트를 사용하여 쉽게 적용할 수 있습니다.

펌프 상태를 쉽게 모니터링할 수 있는 LCD 컨트롤러를 옵션으로 선택할 수 있습니다. 모터 온도, 모터 전류, 냉각수 유량, 펌프 온도 등 관련 데이터가 표시됩니다.

전체 TORRI BD 제품

  • TORRI BD 0100–0600 A
    TORRI BD 0100–0600 A

    최대 진공도
    min. 0.01 hPa(mbar) max. 0.001 hPa(mbar)
    펌프용량:
    min. 100 m³/h max. 600 m³/h

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