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가스 저감 시스템

Busch (부쉬)의 솔루션: GABA

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반도체 산업에서는 환경뿐만 아니라 인체에도 유해한 독성 및 가연성 가스가 사용됩니다. 예를 들어, 마이크로칩 제조에서 그러한 가스가 사용됩니다. 국가 법률에 따르면, 이러한 가스는 제거되어야 합니다. 즉, 각 임계 한계값(TLV) 미만으로 제거되어야 합니다.

다양한 가스에 따라 열, 습식 또는 두 기술의 조합과 같은다른 처리 기술이 필요합니다. 그러면 정제된 공정 배기 가스를 대기로 배출할 수 있습니다. 자연을 손상시키지 않고. 보다 청정한 세상을 위해.

작동 원리

무염 촉매
이 촉매 시스템은 무화염 촉매 열 산화 및 습식 처리 기술을 결합하여 가연성, 수용성 가스 및 NF₃를 감소시킵니다. 열 산화 중에 생성될 수 있는 분말 및 수용성 가스는 상위의 다단계 습식 구역에 포집됩니다.

고온 습식
전기 열처리 및 습식 처리 기술이 단일 시스템에 결합되어 NH₃, SiH₄, NF₃ 등 수소화물 기반 가스가 감소됩니다. 연소실에서 가연성 및 발화성 공정 가스는 열에 의한 화학 반응으로 산화됩니다. 그리고 수용성 가스는 습식 챔버를 통과하면서 용해됩니다.

습식 스크러버
4개의 개별 반응 챔버에서, 특히 에피택시 공정에서 배출되는 배기가스 흐름에는 물이 분사됩니다. 고체 부산물은 물방울에 포집되어 용해됩니다. 그러면 흡수체가 물과 배출 가스를 분리합니다.

GABA AWE

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EPI 공정을 위한 습식 스크러버 가스 감소

  • 혁신적인 습식 스크러버 기술
  • 반도체 산업의 주요 EPI 공정용
  • 특허를 획득한 유입구 막힘 방지 장치
  • 긴 서비스 간격
  • 부산물을 수거하기 위한 허니 트랩 불필요
  • 속도 제어 벤투리 장치
  • 4개의 다른 챔버에 연결하기 위한 공정 유입구 4개

GABA AWE 시리즈의 장점

GABA AWE는 혁신적인 습식 스크러버로 반도체 산업의 주요 EPI 공정용으로 특별하게 개발되었습니다. 최대 작동 안정성과 최상의 공정 안정성을 제공합니다.

AWE 시리즈에는 스크러버 유입구의 막힘을 방지하는 특허를 획득한 유독 가스 유입구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용 수명이 연장되는 동시에 운영 비용이 감소합니다. 정의된 서비스 간격에 유입구 막힘 방지 장치를 교체하는 것으로 유지보수가 줄어듭니다. 이 작업은 장치를 분해할 필요 없이 편리하게 수행할 수 있습니다.

GABA AWE는 사용한 허니 트랩의 생산 공정에서 부산물이 분리되도록 특별하게 설계되었습니다. 습식 스크러버는 가스 유입구를 차단하지 않고 모든 공정 잔여물을 취급할 수 있습니다. 수용성 부산물은 세정액에서 반응하며 고체는 입자로 분리되거나 작동 중 폐수와 함께 펌핑되어 배출됩니다.

생산 공정용 진공은 속도 제어 벤투리 장치를 통해 적극적으로 제어됩니다. 이를 통해 생산 플랜트에서 일정한 공정 압력이 유지되고 작동 중에 문제가 발생하지 않습니다. 모든 공정 설정은 컬러 디스플레이 및 터치 스크린을 사용하여 프로그래밍 가능한 로직 컨트롤러(PLC)를 통해 설정할 수 있습니다.

전체 GABA AWE 제품

GABA AFC

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효율적인 무화염 촉매 가스 감소

  • 무화염 촉매 및 열 습식 가스 저감 기술의 결합
  • 가연성 및 용해성 가스 처리
  • 우수한 저감 효율성
  • 고온 전기 히터
  • 완전 교환 시스템
  • 4개의 다른 챔버에 연결하기 위한 공정 유입구 4개

GABA AFC 시리즈의 장점

GABA AFC 가스 저감 시스템은 제조 공정 중에 위험 가스 및 공기 오염원을 줄이거나 제거하도록 설계되었습니다. 그리고 기본적으로 가스의 화학적 조성을 변경합니다. 무화염 촉매 열 산화 및 열 습식 가스 저감 기술을 조합하여 가연성 및 용해성 가스 모두를 처리 할 수 있습니다.

GABA AFC에서는 촉매가 열처리되는 고온 히터가 사용됩니다. 이를 통해 화염이 발생하지 않는 완벽한 연소가 가능합니다. 대상 가스의 제거 효율성을 향상하기 위해서는 적절한 온도 및 정확한 사용 유체가 매우 중요합니다. 열 시스템은 안정적인 처리 조건을 제공하는 동시에 생성되는 부산물(예: NOx, CO2등)이 매우 적습니다 그리고 반응 챔버에서 제공되는 수용성 가스, 부산물 및 고온 가스가 습식 챔버에서 처리됩니다.

유지보수 중 오염을 방지하기 위해 GABA AFC는 완전 교환 시스템(풀 스왑)으로 설계되었습니다. 모든 모듈은 챔버를 개방할 필요 없이 개별적으로 교체할 수 있습니다.

AFC 시리즈 가스 저감 시스템의 경우 공정 유입구 4개가 표준으로 제공됩니다. 그러므로 이 시스템은 응용 분야에 따라 공정 공구의 다른 4개 챔버 또는 여러 공구에 연결할 수 있습니다.

모든 GABA AFC 제품